Größe des Photolithographiegeräte-Marktes - nach Technologietyp, nach Gerätetyp, nach Wellenlänge, nach Lichtquelle & nach Anwendung - Globalprognose, 2025 - 2034

Photolithographie-Gerätemarktgröße

Der globale Markt für Photolithographiegeräte wurde 2024 auf 14,41 Milliarden US-Dollar geschätzt. Der Markt soll von 15,5 Milliarden US-Dollar im Jahr 2025 auf 21,56 Milliarden US-Dollar im Jahr 2030 und 29,8 Milliarden US-Dollar bis 2034 wachsen, mit einer durchschnittlichen jährlichen Wachstumsrate (CAGR) von 7,5 % im Prognosezeitraum von 2025 bis 2034, laut Global Market Insights Inc.

• Das Wachstum dieses Marktes wird auf die steigende Nachfrage nach Halbleitern mit fortschrittlichen Knoten, die rasche Expansion der globalen Halbleiter-Foundry-Kapazität, die Beschleunigung der Adoption von KI, IoT und Automobil-Elektronik, den Übergang zu High-NA-EUV-Lithographie und staatlich geförderte Halbleiterinitiativen und -Subventionen zurückgeführt.
  
• Die zunehmende Nutzung von Photolithographiegeräten ist mit der steigenden Nachfrage nach Halbleitern mit fortschrittlichen Knoten verbunden, die wiederum auf die Nachfrage nach leistungsstarken, energieeffizienten Chips für KI, 5G, autonome Fahrzeuge und Rechenzentren zurückzuführen ist. Diese erfordern teure und komplexe Strukturierungsfähigkeiten, die mit Lithographieverfahren wie EUV erreicht werden können. Beispielsweise erzielte ASML Holding, der einzige Anbieter von EUV-Lithographiesystemen, die für die Herstellung von Halbleitern mit fortschrittlichen Knoten essenziell sind, 2024 einen Umsatz von 28,3 Milliarden Euro, gegenüber 13 Milliarden Euro vor fünf Jahren, getrieben durch die steigende Nachfrage nach EUV-fähiger Chipproduktion.
  
• Die steigende globale Halbleiter-Foundry-Kapazität erweitert den Markt für Photolithographiegeräte, da Chiphersteller und Regierungen weltweit massiv in neue Fabs investieren. Beispielsweise bauen TSMC, Intel und Samsung mehrmilliardenschwere fortschrittliche Fabs in den USA, Japan und Europa, um den weltweiten Chipbedarf zu decken und damit die Nachfrage nach fortschrittlichen Lithographiesystemen in vielen Front-End-Produktionslinien zu erhöhen.
  
• 2024 dominierte Asien-Pazifik die Photolithographiegeräteindustrie mit einem Anteil von 32,8 % und einem Wert von 4,73 Milliarden US-Dollar. Diese Dominanz ist das Ergebnis großer Halbleiter-Foundries, umfangreicher staatlicher Unterstützung für die Chipfertigung, eines starken Exportökosystems für Elektronik und Milliardeninvestitionen in Next-Generation-Fertigungsanlagen in Taiwan, Südkorea, China und Japan.
  

Trends im Photolithographie-Gerätemarkt

• Der Wechsel zu EUV- und High-NA-EUV-Lithographiesystemen verändert die Photolithographiegeräteindustrie, da Chiphersteller Halbleiter mit fortschrittlichen Knoten unter 5 nm herstellen wollen. Dieser Wandel begann etwa 2019 nach der kommerziellen Einführung von EUV-Systemen durch ASML und hat sich in letzter Zeit beschleunigt, da die nächste Generation von Chips eine noch höhere Auflösung erfordert. Der Übergang beeinflusst den Markt durch treibende kapitalintensive Investitionen, die Reduzierung des Bedarfs an Mehrfachmusterung und die Ermöglichung von leistungsfähigeren, energieeffizienteren Chips, die in den Märkten für KI, 5G und HPC benötigt werden.
  
• Hersteller sollten sich auf die Vorbereitung des EUV-Ökosystems für Komponenten wie Photoresists, Pellicles und Metrologie konzentrieren. Der aktuelle Übergang sollte den Markt bis mindestens 2035 dominieren, da die Produktion global auf 2 nm und darunter skaliert und die kommerzielle Einführung von High-NA-EUV-Werkzeugen fortgesetzt wird.
  
• Die Lokalisierung der Halbleiterfertigung verändert die regionale Zusammensetzung des Photolithographiemarktes, da Länder und Regierungen Chip-Lieferketten aufbauen, um geopolitische Risiken zu verringern. Dieser Trend gewann 2020/2021 an Fahrt, nachdem es zu globalen Chipengpässen und geopolitischen Risiken gekommen war. Er beeinflusst den Markt, indem er die Nachfrage nach Lithographiegeräten in neuen vielversprechenden Regionen wie Indien, den USA, Vietnam und den VAE durch staatliche Subventionen und öffentlich-private Partnerschaften erhöht.
  
• Das Wachstum von Advanced Packaging und heterogener Integration hat die Lithographieanwendungen über die traditionellen Front-End-Anwendungen hinaus erweitert. Dieser Trend begann etwa 2018 und beschleunigte sich mit dem Aufkommen von Chiplet-Architekturen und höheren Ebenen von 2,5D/3D-ICs. Dies ist ein wachsender Aspekt des Marktes, der die Nachfrage nach neuen Lithographiegeräten schafft, die speziell für Fan-Out-Wafer-Level-Packaging (FOWLP), Interposer-Bonding und die Erstellung von Through-Silicon-Vias (TSV) entwickelt wurden.
  
• Die Integration von KI und maschinellem Lernen in die Lithographieprozesssteuerung revolutioniert die Art und Weise, wie die Produktion modernisiert wird, indem sie die Fehlererkennung, die Overlay-Korrektur und die vorausschauende Wartung der Geräte verbessert. Dieser Trend hat sich ausgeweitet, da die Fabs darauf abzielen, höhere Ausbeuten und höhere Ausstöße zu erzielen, während sie versuchen, einen höheren Reifegrad der Knoten zu erreichen. Dies hat einen realistischen Einfluss auf den Markt, da es die Effizienz der Gerätenutzung erheblich verbessert, einen erheblichen Einfluss auf die Reduzierung der Geräteausfallzeiten hat und es Fabs und anderen Herstellern ermöglicht, Echtzeitoptimierungsprozesse durchzuführen.
  

Analyse des Photolithographie-Gerätemarkts

Nach Technologietyp ist der Markt in Kontaktlithographie, Nahfeldlithographie, Projektionslithographie, Nanoimprint-Lithographie, Elektronenstrahl (E-Beam)-Lithographie, extreme Ultraviolett (EUV)-Lithographie und andere (Nanoimprint-Lithographie, maskenlose Lithographie, Elektronenstrahllithographie) unterteilt.

• Der Markt für Kontaktlithographie war der größte und am schnellsten wachsende und wurde 2024 auf 3,91 Milliarden US-Dollar geschätzt und soll im Prognosezeitraum mit einer CAGR von 9,2 % wachsen. Sie gewinnt an Bedeutung in Anwendungen wie MEMS, LED-Herstellung und Leistungshalbleiterproduktion, bei denen hohe Ausbeute, einfache Handhabung und niedrige Kosten entscheidend sind. Im Wesentlichen ist die Kontaktlithographie direkt, wobei die Fotomaske direkt auf dem Wafer platziert wird. Dies eliminiert jedes komplizierte Projektionssystem und ermöglicht eine schnelle, großflächige Belichtung. Daher wurde sie von Herstellern für Prototyping, akademische Forschung und die Produktion von reifen Knoten in Sensoren, Displays und Optoelektronik übernommen, die zu erschwinglichen Kosten und skalierbar für die Produktion durchgeführt werden müssen.
  
• Um diesem Bedarf gerecht zu werden, sollten Gerätehersteller modular aufgebaute Kontaktausrichter mit einer intuitiveren Benutzeroberfläche, anpassbare Maskenhalter und automatisierte Waferhandhabung entwickeln, um eine höhere Ausbeute und Wiederholbarkeit zu erreichen. Ihre Zusammenarbeit mit Universitäten, Forschungs- und Entwicklungslabors und traditionellen Halbleiterfabriken wird dazu beitragen, wachsende Innovationszentren und kostengünstige Fertigung zu fördern.
  
• Der Markt für Nahfeldlithographie erreichte 2034 einen Wert von 3,59 Milliarden US-Dollar. Sie gewinnt in einigen Nischenanwendungen von Halbleitern mit moderater Auflösung, geringem Maskenverschleiß und geringem Kontaminationsrisiko an Bedeutung. Die Nahfeldlithographie oder Kontaktbelichtung ist ein lithographischer Prozess, bei dem der Wafer durch eine Maske belichtet wird, die knapp über der Oberfläche des Wafers platziert wird. Die Nahfeldätzung hat eine höhere Durchsatzrate, eine einfachere Bedienung und kann im Batch-Modus im Vergleich zu Projektionssystemen durchgeführt werden. Daher nutzen Unternehmen diesen Prozess zur Herstellung von diskreten Leistungshalbleitern, Verbindungshalbleitern und Mikrofluidik, bei denen Geschwindigkeit und Kosten in der Produktion von entscheidender Bedeutung sind.
  
• Daher müssen Hersteller anpassbare Nahfeldausrichter mit Spaltkontrolle, Gleichmäßigkeit der Lichtquelle und dicken Photoresists anbieten. Bei der Zusammenarbeit mit mittelgroßen Fabs, Forschungszentren oder industriellen Elektronikherstellern können die Hersteller eine zuverlässige Methode für die Musterung mit mittlerer Auflösung und geringer Kapitalintensität bieten.

Nach Gerätetyp ist der Markt für Photolithographiegeräte in Stepper-Systeme, Scanner-Systeme, Track-Systeme (Beschichtung, Entwicklung, Backen), Metrologie- und Inspektionsgeräte, Maskenausrichter und andere unterteilt.

• Der Markt für Stepper-Systeme war der größte und am schnellsten wachsende und wurde 2024 auf 4,79 Milliarden US-Dollar geschätzt und soll im Prognosezeitraum mit einer CAGR von 8,8 % wachsen. Die Nachfrage steigt bei Halbleiterherstellern nach einem Lithographiegerät, das hochauflösende Musterung, präzise Overlay-Ausrichtung und Kompatibilität mit der Produktion in niedrigen und mittleren Volumina bietet. Stepper, die einen Schritt- und Wiederholungsbelichtungsmechanismus mit Projektionsoptik verwenden, werden am häufigsten zwischen den 90-nm- und 28-nm-Knoten eingesetzt, aufgrund von Genauigkeit, Leistung, Zuverlässigkeit und Kosten pro Wafer im Vergleich zu einer EUV-Lösung. Stepper werden in der Logik-, Speicher- und Analogschaltkreisfertigung eingesetzt, aber besonders für reife Knotenanwendungen, die wiederholbare Leistung garantieren und in weniger komplexen Umgebungen betrieben werden müssen.
  
• Um dieser steigenden Nachfrage gerecht zu werden, sollten Gerätehersteller die Entwicklung ihrer Stepper-Systeme fortsetzen, um eine bessere Beleuchtungssteuerung zu erreichen, die Systemgröße zu minimieren und Optionen für die Prozessautomatisierung zu bieten, um die Durchsatzrate zu erhöhen. Gerätehersteller können mit Foundries, Analogchip-Herstellern und Spezialfabriken zusammenarbeiten, um zuverlässige und kostengünstige Lithographiegeräte für ältere Knoten und Hochmix-Niedrigvolumenproduktion zu entwickeln.
  
• Der Markt für Scannersysteme erreichte im Jahr 2034 einen Wert von 6,45 Milliarden US-Dollar. Die schnelle Einführung von Scannersystemen wird durch die massive Nachfrage von führenden Halbleiterherstellern nach ultragegenauen Strukturierungs- und Durchsatzfähigkeiten für fortgeschrittene Knoten unter 28 nm unterstützt. Scannersysteme nutzen fortschrittliche Projektionsoptiken, Schlitzabtastung (Belichtung + Bühne) und dynamische Bewegung der Bühne, um einen neuen Trend der kontinuierlichen, vollflächigen Waferbelichtung mit hoher Auflösung und Präzision für die Oberflächenabdeckung des Wafers über große Flächen für hochauflösende Abbildung zu setzen.
  
• Die Entwicklung von Scannersystemen muss sich auf optische Antriebe, Stufensteuerungssysteme (Stufenbewegung) und Ausrichtungstechnologie konzentrieren, einschließlich deren Beziehung zu DUV- und EUV-Plattformen. Geräteentwickler sollten mit führenden Foundries, Optikunternehmen und Halbleiterwerkzeugintegratoren zusammenarbeiten, um genaue und präzise Scannersysteme bereitzustellen, die auf die nächste Generation der Chipfertigung durch höhere Geschwindigkeiten, Präzision oder Skalierung abzielen.
  

Basierend auf der Wellenlänge ist der Markt für Photolithographiegeräte in 365 nm, 248 nm, 193 nm, 193 nm Immersion und 13,5 nm unterteilt.

• Der Markt für 365 nm war der größte und hatte im Jahr 2024 einen Wert von 6,53 Milliarden US-Dollar. Er wird zu einem akzeptableren Prozess, da Legacy-Halbleiterunternehmen, Universitäten und MEMS- (Mikroelektromechanische Systeme-)Designer nach einem etablierten und kostengünstigen Lithographieprozess suchen, um reife Knoten und Anwendungen mit niedriger Auflösung zu unterstützen. Als Photolithographieprozess, der eine Wellenlänge von 365 nm (i-Linie) verwendet, ist es ein einfacher Maskenprozess, der sich sehr gut für Leistungsbauelemente, Sensoren und Anwendungen wie Display-Backplanes eignet.
  
• Um dieser wachsenden Nachfrage gerecht zu werden, sollten Gerätehersteller 365-nm-Systeme verbessern, indem sie eine effizientere Lichtquelle bereitstellen, dicke Resist-Anwendungen erweitern und halbautomatische Waferhandhabung ermöglichen. Dies ermöglicht die Zusammenarbeit mit Spezialfabriken, Forschungslaboren und Geräteaufbereitern, um ihnen ein zuverlässiges, erweiterbares Lithographiewerkzeug für die kostensensiblen Märkte und die nicht-leitenden Halbleiterfertigung bereitzustellen.
  
• Der Markt für 13,5 nm war das am schnellsten wachsende Segment und wird voraussichtlich mit einer CAGR von 9,8 % während des Prognosezeitraums wachsen. Die Nachfrage steigt, da Halbleiter-Foundries, Consumer-Electronics-Unternehmen und AI-Hardware-Anbieter eine ultrafeine Merkmalsauflösung und energieeffiziente Chipfunktionen für Next-Gen-Produkte benötigen. Bei einer Wellenlänge von 13,5 nm ermöglicht die EUV- (Extreme Ultraviolet-)Lithographie Single-Patterning bei fortgeschrittenen Knoten wie 5 nm, 3 nm oder darunter, wodurch die Komplexität erheblich reduziert und die Ausbeute für Logik- und Speicherchips erhöht wird. Sie hat in Märkten, in denen Skalierung, Leistung und Effizienz wichtig sind, an Bedeutung gewonnen.
  
• Daher können Entwickler den Wert von EUV-Systemen maximieren, indem sie die High-NA-Fähigkeit maximieren, die Quellenleistung und die Pellicle-Lebensdauer verbessern und sie mit fortschrittlichen Resists integrieren. Durch Partnerschaften mit führenden Kunden-Foundries, optischen Komponentenherstellern und AI-Infrastrukturunternehmen können sie anpassbare, hochvolumige Durchsatz-Next-Gen-Lithographieplattformen bereitstellen, die eine Sub-2-nm-Skalierung aufrechterhalten und die nächste Welle von Computing-Innovationen katalysieren, die auf Konnektivität ausgerichtet sind.
  

Basierend auf der Lichtquelle ist der Markt für Photolithographiegeräte in Quecksilberbogenlampe, Excimerlaser, Kryptonfluorid (KrF), Argonfluorid (ArF) und laserproduziertes Plasma (LPP – für EUV) unterteilt.

• Der Markt für Quecksilberbogenlampen war der größte und hatte im Jahr 2024 einen Wert von 5,18 Milliarden US-Dollar. Die Nachfrage steigt, da eine Vielzahl von Universitäten, Forschungslaboren und Legacy-Halbleiterfabriken zuverlässige, kostengünstige Lichtquellen für i-Linie (365 nm), g-Linie (436 nm) und h-Linie (405 nm) für Lithographieprozesse suchen. Quecksilberbogenlampen bieten eine bewährte, zuverlässige Quelle für stabiles, relativ kostengünstiges Breitband-UV-Licht, das für Kontakt- und Nahfeldlithographie für MEMS, Leistungsbauelemente und akademische Prototypen benötigt wird. Die Kombination aus langer Lebensdauer und niedrigen Stückkosten mit vollständig entwickelten und ausgereiften Photolithographie-Produktionssystemen trägt zur etablierten Position von Quecksilberbogenlampen in der Lithographieproduktion mit niedriger Auflösung bei, wo eine ultrafeine Auflösung als übermäßig streng angesehen wird.
  
• Hersteller sollten weiterhin neue Iterationen von Quecksilberbogenlampensystemen entwickeln, die auf präzisionskritische Anwendungen mit niedrigem Volumen abzielen. Hersteller können die Leistung von Quecksilberbogenlampen verbessern und gleichzeitig eine werkseitige Integration mit halbautomatischen Lithographiewerkzeugen sicherstellen, die in Betriebsumgebungen leicht einsetzbar sind. Hersteller können mit Forschungsinstituten, sehr kleinen, kleinen Foundries und Spezialausrüstungs- und Lieferkettenpartnern zusammenarbeiten, um zu produzieren.
  
• Der Markt für laserproduziertes Plasma (LPP – für EUV) war das am schnellsten wachsende Segment und wird voraussichtlich mit einer CAGR von 9,6 % während des Prognosezeitraums wachsen. Es gewinnt an Bedeutung, da fortschrittliche Halbleiterhersteller, AI-Chip-Designer und Foundries extreme Präzision und Durchsatz für führende Chips bei 5 nm, 3 nm und darunter benötigen. Laserproduziertes Plasma (LPP) ist die vorherrschende Lichtquellentechnologie für EUV-Lithographie bei 13,5 nm, bei der ein hochenergetisches EUV-Photon durch das Beschießen von Zinntropfen mit Hochleistungslasern erzeugt wird, um Plasma zu erzeugen. Es kann ultrafeine Merkmale mit Single-Patterning ermöglichen, während Overlay-Fehler und Herstellungskomplexität reduziert werden. Infolgedessen wird LPP schnell für Hochleistungs-Logik-, Speicher- und 3D-Chips übernommen, bei denen Skalierung, Energieeffizienz und Leistungssteigerungen erforderlich sind.
  
• Um dieser Nachfrage gerecht zu werden, müssen Gerätehersteller die LPP-Quellenleistung erhöhen, die Stabilität der Zinntropfenerzeugung verbessern und hitzebeständige Komponenten wie Kollektoren oder Masken schaffen, während sie mit Optikherstellern, Lasersystementwicklern und führenden Foundries zusammenarbeiten, um hochleistungsfähige und robuste EUV-Systeme zu entwickeln, die den steigenden Anforderungen von High-NA-Systemen und der Herstellung von Sub-2-nm-Halbleitern gerecht werden.
  

Basierend auf der Anwendung ist der Markt für Photolithographiegeräte in Speicherbauelemente, Logik-ICs, Foundry (Contract Manufacturing), IDMs (Integrated Device Manufacturers), Analog- & Mixed-Signal-ICs, MEMS- & Sensorfertigung, fortschrittliche Verpackung (2,5D / 3D-ICs) und Anzeigetafeln (LCD, OLED) unterteilt.

• Der Markt für Speicherbauelemente war der größte Markt und hatte im Jahr 2024 einen Wert von 3,79 Milliarden US-Dollar. Dies wächst, da Chipproduzenten, Rechenzentren und Cloud-Datendienstleister eine höhere Dichte und verbesserte Leistung mit geringerer Energieaufnahme für Speicherlösungen wünschen, um den wachsenden technologischen Anforderungen in den Bereichen KI, Big Data und schnelles Computing gerecht zu werden. Da elektronische Geräte wachsen und moderne Speicherstandards wie DDR5, LPDDR5X und HBM3 nutzen, wird die Notwendigkeit für Photolithographiegeräte offensichtlicher, da sie feine Strukturierung für kleinere Knoten und Mehrschichtstapelung in DRAM und NAND für verbesserte Speicherleistung, Bandbreite, effiziente Energie und reduzierte Baugröße ermöglichen.
  
• Die Geräteanbieter sollten EUV- und DUV-Systeme speziell für Speicheranwendungen markieren, wobei der Fokus auf der Auflösung, der Overlay-Genauigkeit und der Produktionskapazität liegt. Durch die Schaffung strategischer Partnerschaften oder die Zusammenarbeit mit Speicherfabriken, Materiallieferanten oder sogar AI-Hardware-Integratoren können schnellere Ausbeuteverbesserungen, Hochlaufzeiten und Kostensenkungen ermöglicht und insgesamt der globale Anstieg der speicherabhängigen Anwendungen unterstützt werden.
  
• Der Markt für Logik-ICs war das am schnellsten wachsende Segment und wird voraussichtlich mit einer CAGR von 9,7 % während des Prognosezeitraums wachsen. Die Nachfrage steigt, da Halbleiter-Foundries und fabless-Unternehmen ihre Entwicklung kleinerer, schnellerer und energieeffizienterer Logik-ICs vorantreiben, um der Nachfrage aus den Bereichen KI, 5G, Automobil und Edge Computing gerecht zu werden. Die Skalierung fortgeschrittener Knoten wird unter 5 nm und darüber hinaus konvergieren, wobei die Entwicklung in Richtung GAA- (Gate-All-Around-)Transistorarchitektur geht und Photolithographiegeräte, insbesondere EUV, für sehr präzise Strukturierung, Defektkontrolle und Steuerung der Mehrfachstrukturierungskomplexität relevant sind, wo Chiphersteller durch verbesserte Leistung pro Watt und erhöhte Transistordichte Mehrwert schaffen, während die Ausbeute oder Zuverlässigkeit aufrechterhalten wird.
  
• Um dieser Nachfrage gerecht zu werden, sollten Anbieter von Photolithographiegeräten Next-Generation-EUV-Systeme entwickeln, die höhere numerische Aperturen (High-NA), Overlay-Metrologie und kooptimierte Photoresists einführen. Partnerschaften mit führenden Logik-Chip-Designern, Foundries und EDA-Tools-Anbietern treiben die Prozessintegration voran, reduzieren die Variabilität und verkürzen die Zeit bis zur Markteinführung für bahnbrechende Logik-ICs, die in Smart Devices, autonomen Fahrzeugen und KI-Beschleunigern verwendet werden.

Der nordamerikanische Markt für Photolithographiegeräte hielt 2024 einen Marktanteil von 26,1 % und wächst mit einer CAGR von 6,7 %, getrieben durch eine fortschrittliche Halbleiterfertigungsinfrastruktur, eine starke Präsenz führender Chiphersteller und Geräteanbieter sowie wachsende Investitionen in KI, 5G und Automobiltechnik, die Hochleistungs-ICs und fortschrittliche Lithographietechnologien erfordern.

• Die Photolithographiegeräteindustrie in den USA hat sich stetig erweitert und erreichte 2024 einen Wert von 2,81 Milliarden US-Dollar mit einer CAGR von 7,2 %. Dieser Markt verzeichnet ein moderates Wachstum, da die Halbleiterfertigung in den USA aufgrund des CHIPS and Science Act, der Nachfrage nach fortschrittlichen Rechengeräten und der Rückverlagerung durch große Foundries wie Intel, GlobalFoundries und TSMC zunimmt. Die Semiconductor Industry Association gab bekannt, dass die USA über 50 Milliarden US-Dollar in die Chipfertigungsinfrastruktur investieren, sodass ein hoher Bedarf an EUV- und DUV-Lithographiegeräten besteht, um die Entwicklung von Sub-5-nm- und KI-integrierten Chips zu unterstützen. Auch Universitäten und Forschungs- und Entwicklungslabore erhöhen die Kontakt-/Nahfeldlithographiesysteme für Prototypen und MEMS-Aktivitäten.
  
• Hersteller müssen sich auf die Skalierung von Next-Gen-EUV-Plattformen konzentrieren, um die Interoperabilität mit AI-gesteuerten Fertigungsabläufen sicherzustellen, während sie Beziehungen zu inländischen Fabs aufbauen und Forschungsinstitute anvisieren. Die Lokalisierung der Lieferkette, schnellere Lieferzeiten und ein robuster After-Sales-Service werden notwendige Anforderungen sein, um Marktanteile in dem wettbewerbsintensiven und schnelllebigen Innovationsökosystem der US-Halbleiterindustrie zu erobern.
  
• Der kanadische Markt für Photolithographiegeräte soll mit einer durchschnittlichen jährlichen Wachstumsrate (CAGR) von 4,9 % während des Prognosezeitraums deutlich wachsen. Der Markt befindet sich auf einer allmählichen Aufwärtstendenz aufgrund des wachsenden Halbleiter-Forschungsökosystems, das im Land entsteht, sowie staatlicher Mittel, die für die fortschrittliche Fertigung bestimmt sind, und der steigenden Nachfrage nach Chips für Automobil-, Luftfahrt- und Telekommunikationsanwendungen. Institutionen wie CMC Microsystems und Universitäten in Ontario und Québec führen Forschung und Entwicklung (F&E) im Bereich Mikroelektronik und Nanofabrikation durch, die die Nachfrage nach Lithographiegeräten wie Kontakt- und Projektionssystemen für die Prototypenherstellung erhöhen. Kanada steigert sein Interesse an der Produktion von Chips im Inland, um die Bemühungen im Bereich erneuerbare Energien und Elektrofahrzeuge zu unterstützen, einschließlich der inländischen Chipproduktion für KI-Hardware und Leistungselektronik.
  
• Hersteller müssen Lösungen entwickeln, die für mittelgroße Fabs und Forschungsanlagen/Universitätslabore für Elektrotechnik geeignet sind. Diese Systeme müssen klein, kosteneffizient, reproduzierbar hochpräzise sein und flexible Wellenlängenunterstützung demonstrieren. Die Zusammenarbeit mit staatlichen Innovationsprogrammen, Clean-Tech-Beschleunigern oder auf akademischer Konsortialebene wird die Position eines Herstellers auf dem Markt weiter festigen und relevante Angebote mit den Prioritäten Kanadas im Bereich Halbleiter in Einklang bringen.
  

Der europäische Markt für Photolithographiegeräte hielt einen Marktanteil von 21,2 % und wächst mit einer CAGR von 7,1 %, getrieben durch die zunehmende Konzentration auf die Halbleiter-Selbstversorgung, steigende Investitionen in die fortschrittliche Chipfertigung und die wachsende Nachfrage nach EUV-Lithographie in den Bereichen Automobil, industrielle Automatisierung und Telekommunikation, unterstützt durch regionale Digitalisierungsinitiativen und die Übernahme grüner Technologien.

• Der Markt in Deutschland erreichte im Jahr 2024 einen Wert von 622,5 Millionen USD und wird voraussichtlich mit einer CAGR von 5,8 % während des Prognosezeitraums wachsen. Die deutsche Photolithographiegeräteindustrie bleibt stark und wird voraussichtlich tiefer in das Halbleiterökosystem Deutschlands integriert werden, in Verbindung mit dem EU-Chips-Gesetz und der European Semiconductor Manufacturing Company (ESMC) in Dresden. Deutschland verfügt über eine reiche industrielle Geschichte, insbesondere im Bereich Präzisionsoptik, einen sehr starken Automobilsektor und einen bedeutenden Telekommunikations- und Industrieelektroniksektor, und zusammen mit regionalen Lieferanten von Hochtechnologie-Lithographieoptiken ergibt sich daraus eine große Nachfrage nach Photolithographiegeräten. Deutschland spielt weiterhin eine entscheidende Rolle in der globalen Lieferkette mit TSOF und Optiken, die in der Photolithographie verwendet werden und weltweit exportiert werden, während es Joint Ventures mit der Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TSMC), Infineon und Bosch zur Errichtung kleinerer Fertigungsstätten, insbesondere in der Automobilbranche, beherbergt.
  
• Hardware-Lieferanten sollten sich bemühen, direkt mit lokalen Optiklieferanten (wie Zeiss) zusammenzuarbeiten. Auch nationale Fab-Initiativen unterstützen, Lithographiegeräte anbieten, die für weltklasseautomobilgerechte Qualität und Halbleiter für industrielle Anwendungen zugeschnitten sind. Durch die direkte Ausrichtung auf Deutschlands Innovationscluster (z. B. Silicon Saxony #esim oder Silicon Economy) oder Forschungsinstitute – durch Marktzugang oder frühere Beteiligung – können sie ihre Position als führende Anbieter für Präzisionslithographie und die Front-End-Ausrüstung, die sie für Automobil, Clean-Tech sowie die Digitalisierungsinitiative herstellen, besser festigen.
  
• Der britische Markt für Photolithographiegeräte wird voraussichtlich im Jahr 2034 1,66 Milliarden USD erreichen. Der britische Markt wächst, da das Land sein Halbleiterökosystem mit gezielten Investitionen, akademischen Entdeckungsprozessen und neuen Fabs entwickelt. Regierungsmaßnahmen wie die 1-Milliarden-Pfund-Strategie für Halbleiter ermöglichen aggressiv den Bau zusätzlicher Kapazitäten, insbesondere für Verbindungshalbleiter und fortschrittliche Materialchips für Automobil- und Industrieanwendungen. Gleichzeitig unterstützen Energie aus lokalen Innovatoren (in Durham) und Cluster von Verbindungshalbleiteranlagen in Südwales die lokale Nachfrage nach Lithographiegeräten, einschließlich Kontakt-, Projektions- und EUV-Systemen.
  
• Hersteller müssen modulare Lithographiesysteme für die Produktion in niedrigen bis mittleren Volumina, die Ausrichtung von Prototypen und für Nischenausgaben von Verbindungshalbleitern unterstützen. Durch die Zusammenarbeit mit universitätsbezogenen Reinräumen und Open-Access-Fabs können Hersteller skalierbare und wirtschaftliche Optionen für die R&D- und Produktionsaktivitäten des Vereinigten Königreichs bereitstellen.
  

Die Region Asien-Pazifik ist die größte und am schnellsten wachsende im Markt für Photolithographiegeräte und wird voraussichtlich mit einer CAGR von 8,6 % während des Prognosezeitraums wachsen, getrieben durch die rasche Expansion der Halbleiterfertigung in China, Taiwan und Südkorea, die steigende Nachfrage nach Verbraucherelektronik und staatlich geförderte Investitionen in die Chipfertigung und Innovation in den Bereichen 5G, KI und Automobilsektor.

• Die chinesische Photolithographiegeräteindustrie wird voraussichtlich deutlich wachsen und bis 2034 3,28 Milliarden USD erreichen. China bietet eine beispiellose Gelegenheit aufgrund seines aggressiven Schubs zur Halbleiter-Selbstversorgung, der wachsenden inländischen Chipnachfrage und Investitionen in die fortschrittliche Fertigung. Das Regierungsprogramm „Made in China 2025“ und zunehmend strengere Beschränkungen für ausländische Halbleitergeräte fördern den enormen Bau lokalisierter Fertigungsstätten oder „Fabs“ und Backend-Einrichtungen. Dies hat eine bemerkenswerte Nachfrage nach DUV- und EUV-Photolithographiesystemen von lokalen Fabs geschaffen, die die Produktion von Logik-ICs, Speicher und Leistungshalbleitern hochfahren.
  
• Um im Wettbewerb zu bleiben, sollten Unternehmen Photolithographiesysteme an die inländischen Prozesstechnologien Chinas anpassen und mit lokalen Geräteherstellern und Forschungsinstituten zusammenarbeiten. Es ist wichtig, mit nationalen Standards übereinzustimmen, die Kompatibilität mit inländischen Fertigungssystemen zu optimieren und Lieferkettenrisiken im Hinblick auf die anhaltenden geopolitischen und Exportkontrollrealitäten zu mindern.
  
• Der indische Markt für Photolithographiegeräte wird voraussichtlich mit einer CAGR von 11,3 % während des Prognosezeitraums deutlich wachsen. Indiens Markt erlebt einen Aufschwung als Folge eines nationalen Schubs zur Elektronik-Selbstversorgung, einer erhöhten Halbleiternachfrage und günstiger politischer Netzwerke zur Halbleiterfertigung in Indien, wie der India Semiconductor Mission (ISM). Nach starkem Wachstum in den Bereichen Verbraucherelektronik, Automobil und Telekommunikation sowie wachsender Unterstützung für die inländische Chipfertigung und -entwicklung erkunden sowohl globale als auch inländische Akteure Möglichkeiten, um in Indien zu produzieren (oder die Produktion auszubauen). Indiens Technologiezentren erleben das Entstehen von fabless-Halbleiter-Startups und F&E-Einrichtungen, die die Nachfrage nach modernen Photolithographiefähigkeiten weiter antreiben.
  
• Um erfolgreich zu sein, müssen Lieferanten skalierbare Geräte und Support-Dienstleistungen zu erschwinglichen Preisen anbieten, die für F&E und die Herstellung in mittleren Volumina geeignet sind. Die Lokalisierung ist entscheidend, ebenso wie die Bereitstellung von Schulungsprogrammen für Fab-Ingenieure und die Ausrichtung auf Indiens PLI-Schemata (Produktionsverknüpfte Anreize). Die Zusammenarbeit mit inländischen Fabs, akademischen Einrichtungen und von der indischen Regierung unterstützten Halbleiterinitiativen wird wichtig sein, um in dem sich schnell entwickelnden Markt relevant und wettbewerbsfähig zu bleiben.
  

Lateinamerika hielt einen Marktanteil von 11,5 % und wächst mit einer CAGR von 7,9 %, getrieben durch die zunehmende Verbreitung von Verbraucherelektronik, steigende Investitionen in die regionale Halbleiter-Montage und -Prüfung sowie die wachsende Nachfrage nach fortschrittlichen Verpackungslösungen in den Bereichen Automobil, Telekommunikation und Gesundheitswesen.

• Der Markt für Photolithographiegeräte in Brasilien wird voraussichtlich mit einer CAGR von 7,0 % während des Prognosezeitraums wachsen. Dieser Markt wächst, da das Land die lokale Halbleiterkapazität und die Elektronikfertigung ausbauen möchte, um seine Abhängigkeit von importierter Elektronik zu verringern. Regierungsinitiativen zur Digitalisierung öffentlicher Dienstleistungen, zum Aufbau von 5G-Netzen und zur Modernisierung der industriellen Infrastruktur erhöhen die lokale Nachfrage nach fortschrittlicher Mikroelektronik und integrierter Schaltkreisfertigung. Die Automobil-Elektronikindustrie in Brasilien wächst schnell, und neue Implementierungen von IoT- und KI-bezogenen Geräten in der Landwirtschaft und in Smart Cities entstehen, was Forschungsinstitute und Technologieparks dazu veranlasst, die lokale Chipproduktion und Chancen für Photolithographiegeräte-Lieferanten als kommerzielle Möglichkeiten zu untersuchen.
  
• Hersteller müssen Photolithographiesysteme anbieten, die relativ kostengünstig und kompakt sind, um in Pilot-Fabs, Forschungslabore und für akademische Zwecke zu passen. Hersteller, die Partnerschaften mit brasilianischen Universitäten, Innovationsclustern und bundesgeförderten Technologietrainingsprogrammen eingehen, werden ebenfalls wichtig sein. Photolithographiehersteller mit Systemen, die die regulatorischen Standards Brasiliens klar verstehen und die Förderung von Bildung und Training im Bereich Halbleitertechnik und Arbeitskräftentwicklung vorantreiben können, werden am besten in der Lage sein, das in Brasilien aufgebaute Mikroelektronik-Ökosystem zu bedienen.
  
• Der Markt für Photolithographiegeräte in Argentinien wird voraussichtlich mit einer durchschnittlichen jährlichen Wachstumsrate (CAGR) von 8,9 % während des Prognosezeitraums wachsen. Der Markt in Argentinien verändert und verbessert sich, da der Staat nationale Technologiepolitik leitet und umsetzt, um lokale Innovationen, universitäre Zusammenarbeit in der Chipforschung und digitale Industrie- und Wirtschaftspolitik zu fördern. Da die Betonung auf elektronischer Unabhängigkeit zugenommen hat, wachsen Argentiniens Bemühungen, Halbleiter-Ausbildungszentren bereitzustellen, die akademische Einrichtungen und Experimente mit staatlichen Laboren verknüpfen. Präzisionslandwirtschaft, Telekommunikation, Automobil-Elektronik und verwandte industrialisierte Sektoren entstehen und schaffen eine beginnende Nachfrage nach kleinen, bildungsorientierten Photolithographiesystemen, die Forschung und Entwicklung sowie nicht realisierte Pilotproduktion ermöglichen.
  
• Hersteller müssen kostengünstige, modulare Photolithographieplattformen in Betracht ziehen, um den Infrastrukturbedarf des Landes und definierte Möglichkeiten zur Kompetenzentwicklung zu erfüllen. Partnerschaften mit Universitäten, staatlichen Technologieräten und regionalen Innovationsclustern oder -organisationen werden wichtig sein, um eine skalierbare Lösung zu etablieren und umzusetzen. Unternehmen mit praktischer technischer Unterstützung vor Ort, die lokale Fähigkeiten ausbauen und Aufstiegsmöglichkeiten bieten, werden von besonderer Bedeutung sein, um Vertrauen und eine nachhaltige Präsenz auf diesem kleinen, aber strategisch wichtigen regionalen Markt zu entwickeln.
  

Der Markt für drahtlose Anzeigen im Nahen Osten und in Afrika wurde 2024 auf 1,20 Milliarden US-Dollar bewertet. Das Marktwachstum wird durch die Erweiterung der digitalen Infrastruktur, das wachsende Interesse an der inländischen Halbleiterfertigung und die steigende Nachfrage nach fortschrittlicher Elektronik in den Bereichen Verteidigung, Telekommunikation und Automobilsektor angetrieben.

• Der Markt für Photolithographiegeräte in den VAE erreichte 2024 einen Wert von 386,42 Millionen US-Dollar und wird voraussichtlich mit einer durchschnittlichen jährlichen Wachstumsrate (CAGR) von 7,5 % während des Prognosezeitraums wachsen. Das Wachstum im Halbleitersektor der VAE spiegelt das nationale Engagement für fortschrittliche Fertigung, erhöhte Halbleiter-F&E-Finanzierung und die langfristige Vision einer diversifizierten, wissensintensiven Wirtschaft wider. Strategische Freihandelszonen zusammen mit der Industriestrategie von Abu Dhabi und dem Engagement von Dubai für intelligente Elektronik schaffen eine einladende Umgebung für sowohl internationale als auch regionale Designer, sich im Chipdesign, Nanostrukturierung und Elektronikmontage niederzulassen. Lokale Universitäten integrieren ältere Generationen, aufbereitete Photolithographiegeräte in MEMS- und Nanogeräte-Curricula, während Pilotfertigungslinien und agile Elektronikstartups kompakte, schablonenfreie Prägesysteme anstreben, um Prototypen sowohl von Logik- als auch MEMS-Sensoren zu entrisiken.
  
• Etablierte Forschungsinstitute, Wissenschaftsparks und staatlich geförderte Innovationsinkubatoren formalisieren Verbindungen mit globalen Photolithographieanbietern, um ein nachhaltiges Ökosystem zu fördern. Die Marktakzeptanz wird von der Bereitstellung vielseitiger, benutzerfreundlicher Lithographiegeräte abhängen, die für kleine Chargen und maßgeschneiderte Läufe ausgelegt sind. Anbieter, die die Kapitalausrüstung mit lokalisierten, den VAE entsprechenden Sicherheitsverriegelungen, Schulungen vor Ort und modularen, aufstiegsorientierten Upgrade-Pfaden kombinieren, werden gut mit den Ambitionen des Landes für eine widerstandsfähige, präzise Fertigungswertschöpfungskette übereinstimmen.
  
• Der Markt für drahtlose Anzeigen in Südafrika wird voraussichtlich 2034 210 Millionen US-Dollar erreichen. Die Nachfrage nach dieser Ausrüstung wurde durch das wachsende Interesse an inländischer Halbleiterforschung, die größere staatliche Verpflichtung zur Förderung der Elektronikfertigung und das anhaltende Interesse der Universitäten an der Entwicklung von Nanotechnologie- und Mikroelektronikprogrammen angeregt. Obwohl das Land noch keine große Chipfertigungskapazität hat, erwerben Institutionen und Startups nun Photolithographiegeräte für die MEMS-Entwicklung, Sensorprototypen und akademische Nanotechnologieausbildung.
  
• Der Erfolg auf diesem Markt wird von Anbietern verlangen, erschwingliche, kompakte und wartungsarme Photolithographiesysteme bereitzustellen, die in ressourcenarmen oder forschungsbasierten Umgebungen zuverlässig sind. Anbieter müssen möglicherweise eng mit südafrikanischen Universitäten, Wissenschaftsräten und Inkubatoren zusammenarbeiten, um die Arbeitskräfteentwicklung und die lokalisierte F&E zu unterstützen. Die Bereitstellung von hochwertiger technischer Unterstützung, skalierbarer Systeme für die Pilotproduktion und die Ausrichtung auf die politischen Ziele der südafrikanischen Regierung wird auch langfristige Marktchancen nutzen.
  

Marktanteil von Photolithographiegeräten

• Die fünf führenden Unternehmen ASML Holding N.V., Nikon Corporation, Canon Inc., Veeco Instruments Inc. und Applied Materials, Inc. halten gemeinsam etwa 90,6 % des Marktes. Diese Konzentration ist eine Folge der Kontrolle dieser Unternehmen über kritische Photolithographietechnologien, einschließlich des exklusiven Kontrolls über Extreme-Ultraviolett-(EUV-)Systeme, Deep-Ultraviolet-(DUV-)Plattformen und Hochleistungsoptiken. ASML hat ein nahezu Monopol bei EUV, und Nikon und Canon verfügen über jahrzehntelange Erfahrung mit DUV-Scannern. Sie dominieren sowohl die fortschrittliche Halbleiterproduktion als auch ältere Technologien. Veeco und Applied Materials bieten komplementäre Mustererzeugungs- und Messtechnik, die in die Lithographie integriert sind, und sie investieren ebenfalls in Hardware- und Softwarefähigkeiten, bieten gebündelte Lösungen mit Ätz- und Inspektionswerkzeugen und verfügen über große geistige Eigentumsportfolios (IP), die eine enorme Markteintrittsbarriere für neue Marktteilnehmer in dieser kapital- und innovationsgetriebenen Branche schaffen.
  
• ASML Holding N.V. beherrscht geschätzt 80,1 % der Photolithographiegeräteindustrie mit seiner überwältigend dominanten Position bei EUV-Lithographiesystemen, spezialisierten Lieferbeziehungen mit den führenden Chipherstellern TSMC, Intel und Samsung sowie der unübertroffenen Genauigkeit von Nanomustern. Der strategische Vorteil von ASML ergibt sich aus seiner proprietären EUV-Technologie, der vertikalen Lieferkette und dem langfristigen, nachhaltigen F&E-Engagement in High-NA-Plattformen. Darüber hinaus wird seine Führungsposition durch erhebliche Markteintrittsbarrieren, fast keinen Wettbewerb bei EUV weltweit und ein robustes Service-Ökosystem gestärkt, das kontinuierliche Upgrades und Uptime-Optimierung in allen Fabs weltweit ermöglicht.
  
• Nikon Corporation hält etwa 4 % des Marktes für drahtlose Anzeigen. Dies wird durch Nikons Geschichte in der Hochpräzisionsoptik, seine umfangreiche Erfahrung mit i-Linie- und DUV-Lithographiesystemen sowie langjährige Beziehungen zu Speicher- und Logik-IC-Herstellern in Japan und außerhalb Japans angetrieben. Nikon ist bekannt für seine Ingenieurskunst, die Bereitstellung zuverlässiger Systeme und die Bereitstellung von Lösungen, die eine kostengünstige Produktion reifer Knoten ermöglichen. Seine Anwendungsfälle für Präzisionsmesstechnik, die Integration seiner Produkte in Halbleiterfabriken und sein Engagement für F&E in nächsten Generationen von Immersion und Multi-Patterning-Technologien ermöglichen es den Endnutzern, mit Präzision zu arbeiten.
  
• Canon Inc. hält 3,0 % des Marktanteils. Canons Fokus wird der Firma zugeschrieben, die FPA-Serie der Photolithographiesysteme und ihre erhebliche Stärke in optischen und Bildgebungstechnologien, die für die Halbleiterfertigung in reifen und Spezialknoten ausgelegt sind. Die Werkzeuge der Firma können MEMS-, Sensor- und Leistungsgerätehersteller bedienen, selbst wenn kompakte und wirtschaftliche Systeme als Teil des Designs erforderlich sind. Die offene Philosophie von Canon stellt sicher, dass ihre Werkzeuge in verschiedenen Fab-Umgebungen verwendet werden können, und Innovationen in Maskenausrichtung und Nanoimprint-Technologien.
  
• Veeco Instruments Inc. hält etwa 1,5 % des Marktanteils, angetrieben durch seine Stärken in der fortschrittlichen Verpackung, Verbindungshalbleitern und Nanofabrikation. Veeco ist vor allem für seine Laser-Temperung und Ionenstrahl-Ätzungssysteme bekannt und bedient spezialisierte Anwendungen in der Photonik, MEMS und fortschrittlichen Anzeigen. Veeco erzielt kommerzielle Vorteile durch offene Architektur-Werkzeuge und Prozessflexibilität, wobei der kooperative Ansatz mit Forschungsinstituten und Foundries Veeco besondere Hebelwirkung in aufstrebenden Märkten wie 3D-Integration und heterogener Verpackung verschafft, um eine wettbewerbsfähige Position in präzisionsgestützten, nächsten Generationen von lithografischen Prozessen zu behalten.
  
• Applied Materials Inc. beherrscht derzeit etwa 2,0 % des Marktes, angetrieben durch sein Wissen in der Materialtechnik und Abscheidetechnologien, die in den Strukturierungsschritten von Bauelementen eingesetzt werden. Es führt mit Lösungen wie Musterformung und fortschrittlichem Ätzen, die in der EUV-Multi-Patterning mit dem Grad an Raffinesse eingesetzt werden, der für immer feinere Knoten in Logik- und Speicherbauelementen erforderlich ist. Das Unternehmen hat ein robustes Niveau an Exzellenz in die Halbleiterwertschöpfungskette auf tiefem Niveau eingebracht, mit seinen Endura-, Centura- und Sym3-Systemen. Applied Materials, Inc. hat auch den Vorteil von Kooperationen mit führenden Foundries und Substratanbietern, und seine AIx-Plattform wird helfen, jeden Datensatz zu optimieren, unter Verwendung datengestützter Lösungen, um seine Position als strategischer Ermöglicher für den Fortschritt der Lithographie zu stärken.
  

Unternehmen im Markt für Photolithographiegeräte

Liste der prominenten Akteure, die im Markt für Photolithographiegeräte tätig sind, umfasst:

• ASML Holding N.V.
• Nikon Corporation
• Canon Inc.
• Veeco Instruments Inc.
• Applied Materials, Inc.
• Onto Innovation Inc.
• KLA Corporation
• Hitachi High-Tech Corporation
• Gigaphoton Inc.
• Cymer LLC
• Ushio Inc.
• Hamamatsu Photonics K.K.
• Xenics NV
• Lam Research Corporation
• SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.

Nachrichten aus der Branche für photolithografische Ausrüstung

• Im Mai 2024 erwarb Intel die gesamte Produktion von High-NA-EUV-Lithografiemaschinen von ASML für das Jahr 2024, wobei alle fünf im Jahr produzierten Einheiten gesichert wurden (jede mit einem Wert von etwa 370 Millionen US-Dollar). Dieser strategische Schritt verhinderte effektiv, dass Wettbewerber wie Samsung und SK Hynix bis mindestens zur zweiten Jahreshälfte 2025 Zugang zu diesen fortschrittlichen Werkzeugen erhielten, und stärkte damit die Führungsposition von Intel in der nächsten Generation der Chipfertigung.
  
• Im März 2025 erwarb die chinesische Halbleiterausrüstungsgruppe Naura Technology eine 9,5%ige Beteiligung an Kingsemi, einem inländischen Hersteller von Photolithografie-Beschichtungsgeräten, für etwa CNY 1,69 Milliarden (USD 233 Millionen). Dieser Schritt stärkt die Fähigkeiten von Naura, indem er kritische Front-End-Beschichtungs- und Entwicklungswerkzeuge in sein Portfolio integriert und Chinas Bemühungen unterstützt, ein eigenständiges Ökosystem für Halbleiterausrüstung aufzubauen.
  

Der Marktforschungsbericht über photolithografische Ausrüstung umfasst eine detaillierte Abdeckung der Branche mit Schätzungen und Prognosen in Bezug auf den Umsatz (USD Millionen) von 2021 bis 2034 für die folgenden Segmente:

Markt, nach Technologietyp

• Kontaktlithografie
• Nahfeldlithografie
• Projektionslithografie
• Nanoimprint-Lithografie
• Elektronenstrahl (E-Strahl)-Lithografie
• Extrem-Ultraviolett (EUV)-Lithografie
• Andere

Markt, nach Gerätetyp

• Stepper-Systeme
• Scanner-Systeme
• Track-Systeme
• Metrologie- & Inspektionswerkzeuge
• Maskenausrichter
• Andere

Markt, nach Lichtquelle

• Quecksilberdampflampe
• Excimerlaser
• Kryptonfluorid (KrF)
• Argonfluorid (ArF)
• Laserproduziertes Plasma (LPP – für EUV)

Markt, nach Anwendung

• Speichergeräte
• Logik-ICs
• Foundry (Auftragsfertigung)
• IDMs (Integrierte Gerätehersteller)
• Analog- & Mixed-Signal-ICs
• MEMS- & Sensorherstellung
• Fortschrittliche Verpackung (2,5D / 3D-ICs)
• Display-Panels (LCD, OLED)

Die oben genannten Informationen werden für die folgenden Regionen und Länder bereitgestellt:

• Nordamerika 
  • USA
  • Kanada 
• Europa
  • Deutschland
  • UK
  • Frankreich
  • Italien
  • Spanien
  • Niederlande
  • Rest von Europa 
• Asien-Pazifik
  • China
  • Indien
  • Japan
  • Südkorea
  • Australien
  • Rest von Asien-Pazifik 
• Lateinamerika
  • Brasilien
  • Mexiko
  • Argentinien
  • Rest von Lateinamerika 
• Naher Osten und Afrika
  • Saudi-Arabien
  • Südafrika
  • VAE
  • Rest von MEA