光刻设备市场规模 - 按技术类型、设备类型、波长、光源及应用 - 全球预测（2025-2034年）

光刻设备市场规模

全球光刻设备市场在2024年估值为144.1亿美元。预计市场将从2025年的155亿美元增长至2030年的215.6亿美元，并到2034年达到298亿美元，预计在2025-2034年的预测期内复合年增长率为7.5%，据Global Market Insights Inc.称
 

• 该市场的增长归因于先进节点半导体需求激增、全球半导体代工厂产能快速扩张、AI、物联网和汽车电子采用加速、向高NA EUV光刻技术转型，以及政府主导的半导体计划和补贴
   
• 光刻设备使用量增加与先进节点半导体需求上升有关，因为AI、5G、自动驾驶汽车和数据中心等领域需要高性能、低功耗芯片，这些芯片需要复杂的图案化能力，可通过EUV等光刻技术实现。例如，ASML Holding公司作为先进节点半导体制造所需的EUV光刻系统唯一供应商，2024年实现283亿欧元营收，较五年前的130亿欧元大幅增长，主要受EUV芯片制造需求推动
   
• 全球半导体代工厂产能增加扩大了光刻设备市场，因为各国芯片制造商和政府大力投资新建晶圆厂。例如，台积电、英特尔和三星正在美国、日本和欧洲建设多个价值数十亿美元的先进晶圆厂，以满足全球芯片需求，从而增加了多条前端生产线对先进光刻系统的需求
   
• 2024年，亚太地区以32.8%的份额和47.3亿美元的价值主导了光刻设备行业。这一主导地位源于大型半导体代工厂、政府对芯片制造的大力支持、强大的电子产品出口生态系统，以及台湾、韩国、中国和日本对下一代制造设施的数十亿美元投资
   

光刻设备市场趋势

• 向EUV和高NA EUV光刻系统的转变正在改变光刻设备行业，因为芯片制造商意图生产5nm以下的先进节点。这一变化始于2019年ASML商业化部署EUV系统，近期因下一代芯片需要更高分辨率而加速。这一转变影响市场，因为它推动了资本密集型投资，减少了多重图案化的需求，并允许生产更高效、高性能的芯片，这些芯片在AI、5G和HPC市场中需求旺盛
   
• 制造商应关注EUV生态系统的准备工作，包括光刻胶、遮蔽膜和测量技术。当前的转型将至少持续到2035年，因为2nm及以下节点的全球生产规模扩大，以及高NA EUV工具的商业化部署持续进行
   
• 半导体制造的本地化正在改变光刻市场的区域格局，因为各国和政府寻求芯片供应链以减少地缘政治风险。这一趋势在2020/2021年全球芯片短缺和地缘政治风险后加速。它影响市场，通过政府补贴和公私合作，提高了印度、美国、越南和阿联酋等新兴地区对光刻设备的需求
   
• 先进封装和异构集成的增长将光刻应用扩展到传统前端应用之外。这一趋势始于2018年，随着芯片架构和更高级别的2.5D/3D IC的出现而加速。这是市场的一个增长方面，创造了对新型光刻工具的需求，这些工具专为扇出晶圆级封装（FOWLP）、互连体结合和通过硅通孔（TSV）创建而设计
   
• 在光刻工艺控制中集成AI和机器学习算法正在改变生产方式，通过提高缺陷检测、覆盖修正和预测性设备维护来实现现代化。这一趋势扩大，因为晶圆厂专注于提高产量和产出，同时努力实现节点的先进水平。这对市场产生了实际影响，因为它大大提高了设备使用效率，显著减少了设备停机时间，使晶圆厂和其他制造商能够实现实时优化流程
   

光刻设备市场分析

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按技术类型划分，该市场分为接触光刻、邻近光刻、投影光刻、纳米压印光刻、电子束（e-beam）光刻、极紫外（EUV）光刻和其他（纳米压印光刻、无掩膜光刻、电子束光刻）
 

• 接触光刻市场规模最大且增长最快，2024年估值为39.1亿美元，预计在预测期内以9.2%的复合年增长率增长。它在MEMS、LED制造和功率半导体生产等应用中越来越受欢迎，因为这些应用需要高产量、易用性和低成本。本质上，接触光刻是直接的，光掩模直接放置在晶圆上。这消除了任何复杂的投影系统，并允许快速、大面积曝光。因此，它被制造商用于传感器、显示器和光电子器件的原型设计、学术研究和成熟节点生产，这些生产必须以低成本和可扩展的方式进行
   
• 为了满足这一需求，设备供应商应专注于开发模块化接触对准仪，具有更直观的用户界面、可定制的掩模夹具和自动化晶圆处理，以实现更高的产量和重复性。他们与大学、研发实验室和传统半导体晶圆厂的合作将有助于培育新的创新中心和低成本制造
   
• 邻近光刻市场在2034年达到35.9亿美元的估值。它在某些特定半导体应用中正在获得市场份额，这些应用具有中等分辨率、低掩膜磨损和低污染风险。邻近光刻或接触印刷是一种光刻工艺，其中晶圆通过放置在晶圆表面上方的掩膜进行曝光。与投影系统相比，邻近蚀刻具有更高的吞吐量，操作更简单，并且可以以批量模式提供。因此，公司正在利用这一工艺制造离散功率器件、化合物半导体和微流体，其中生产速度和成本至关重要
   
• 因此，制造商需要提供具有间隙控制、光源均匀性的可定制邻近对准仪，并适应厚光刻胶。在与中型晶圆厂、研发中心或工业电子制造商合作时，制造商可以提供一种可靠的中分辨率图案化手段，具有低资本强度
   

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按设备类型划分，光刻设备市场分为步进系统、扫描系统、轨道系统（涂覆、显影、烘烤）、测量与检测工具、掩膜对准仪和其他
 

• 步进系统市场规模最大且增长最快，2024年估值为47.9亿美元，预计在预测期内以8.8%的复合年增长率增长。半导体制造商对提供高分辨率图案化、精确覆盖对准和与低、中产量生产兼容的光刻工具的需求正在增加。步进器，采用基于投影光学的逐步重复曝光机制，通常出现在90nm和28nm节点之间，由于准确性、性能、可靠性和每片晶圆成本等因素，与EUV解决方案相比。步进器用于逻辑、存储器和模拟集成电路的制造，但特别是用于成熟节点应用，这些应用需要保证可重复性能并运行在较简单的环境中
   
• 为了满足这一不断增长的需求，设备供应商应继续开发其步进系统，以实现更好的照明控制，最小化系统占地面积，并提供流程自动化选项以提高吞吐量。设备供应商可以与代工厂、模拟芯片制造商和专业晶圆厂合作，开发可靠且成本效益的光刻工具，用于传统节点和高混合、低产量生产
   
• 到2034年，扫描系统市场规模将达到64.5亿美元。扫描系统的快速部署得到了先进半导体制造商对28nm以下先进节点超精密图案化和吞吐量能力的巨大需求的支持。扫描系统利用先进的投影光学、缝隙扫描（曝光+台阶）和台阶的动态运动，为全片晶圆连续、高分辨率和精度的表面覆盖设定了新趋势，实现了大面积高分辨率成像。
   
• 扫描系统的开发必须聚焦于光学引擎、台阶控制系统（台阶运动）和对准技术，包括它们与DUV和EUV平台的关系。设备开发商应与领先的晶圆厂、光学公司和半导体工具整合商合作，提供准确且精密的扫描系统，以通过更高速度、精度或规模满足下一代芯片制造需求。
   

按波长划分，光刻设备市场分为365nm、248nm、193nm、193nm浸没式和13.5nm。
 

• 2024年，365nm市场规模最大，达65.3亿美元。它正在成为更受欢迎的工艺，因为传统半导体公司、大学和MEMS（微机电系统）设计师正在寻找一种成熟且低成本的光刻工艺，以支持成熟节点和低分辨率应用。作为一种使用365nm波长（i线）的光刻工艺，它是一种简单的掩膜工艺，非常适合功率器件、传感器和显示背板等应用。
   
• 为了满足不断增长的需求，设备制造商应通过提供更高效的光源、扩大厚膜光刻胶应用和半自动化晶圆处理来改进365nm系统。这使得与专业晶圆厂、研究实验室和设备翻新商合作成为可能，为成本敏感市场和非领先半导体制造提供可靠、可扩展的光刻工具。
   
• 13.5nm市场是增长最快的细分市场，预计在预测期内将以9.8%的复合年增长率增长。随着半导体晶圆厂、消费电子公司和AI硬件供应商对下一代产品的超精细特征分辨率和功率高效芯片功能的需求增加，需求正在增加。在13.5nm波长下，EUV（极紫外）光刻允许在5nm、3nm或更低的先进节点进行单重图案化，从而大幅减少复杂性，并提高逻辑和存储芯片的良率。它在需要规模、性能和效率的市场中获得了关注。
   
• 因此，开发者可以通过最大化高NA能力、增强光源功率和挡板寿命，以及与先进光刻胶集成来最大化EUV系统的性价比。通过与领先客户晶圆厂、光学组件供应商和AI基础设施公司合作，他们可以提供可适应的、高吞吐量、下一代光刻平台，以支持亚2nm缩放并推动下一波以连接为重点的计算创新。
   

按光源划分，光刻设备市场分为汞弧灯、准分子激光、氪氟化物（KrF）、氩氟化物（ArF）和激光产生等离子体（LPP——用于EUV）。
 

• 2024年，汞弧灯市场规模最大，达51.8亿美元。随着各种大学、研究实验室和传统半导体晶圆厂寻求可靠、成本竞争力的i线（365nm）、g线（436nm）和h线（405nm）光源用于光刻工艺，其需求正在增加。汞弧灯提供了稳定、成本相对较低的宽波紫外光源，适用于MEMS、功率器件和学术原型设计的接触和接近光刻。结合长寿命和低单位成本与成熟的光刻生产系统，使得汞弧灯在低分辨率光刻生产中占据了牢固的地位，而超精细分辨率被认为过于严格。
   
• 制造商应继续开发新一代汞弧灯系统，以满足低产量、精度关键应用的需求。制造商可以在保证工厂集成的同时，提高汞弧灯性能，并确保与半自动化光刻工具的兼容性，这些工具可以在运营环境中轻松部署。制造商可以与研究机构、非常小型、小型晶圆厂和专业设备和供应链合作伙伴合作生产。
   
• 激光产生等离子体（LPP——用于EUV）市场是增长最快的细分市场，预计在预测期内将以9.6%的复合年增长率增长。它正在获得关注，因为先进半导体制造商、AI芯片设计师和晶圆厂对5nm、3nm及更小的先进芯片的极端精度和吞吐量需求增加。激光产生等离子体（LPP）是13.5nm EUV光刻的主要光源技术，其中通过向锡滴射高功率激光来创建等离子体，从而产生高能EUV光子。它可以在单重图案化的同时实现超小特征，并减少叠加误差和制造复杂性。因此，LPP正在被快速采用，用于高性能逻辑、存储和3D芯片，这些芯片需要缩放、能效和性能提升。
   
• 为了满足这一需求，设备制造商必须增加LPP光源功率，提高锡滴生成的稳定性，并开发耐高温组件，如收集器或掩膜，同时与光学制造商、激光系统开发商和先进晶圆厂合作，开发高输出和稳健的EUV系统，以满足高NA系统不断增长的需求和亚2nm半导体的制造。
   

按应用划分，光刻设备市场分为存储器件、逻辑IC、晶圆代工（合同制造）、IDM（集成设备制造商）、模拟与混合信号IC、MEMS与传感器制造、先进封装（2.5D/3D ICs）和显示面板（LCD、OLED）。
 

• 2024年，存储器件市场规模最大，达37.9亿美元。随着芯片制造商、数据中心和云数据服务专家希望在存储器件中实现更高密度和更好的性能，同时降低能耗，以满足AI、大数据和快速计算技术需求的增长，这一市场正在增长。随着电子设备的发展和现代存储器标准如DDR5、LPDDR5X和HBM3的使用，光刻设备的需求变得更加明显，因为它使得更小节点和DRAM和NAND的多层堆叠成为可能，从而提高存储器性能、带宽、功率效率，并减少尺寸。
   
• 设备供应商应将EUV和DUV系统特别用于存储器应用，重点关注分辨率、叠加和生产速度。通过与存储器晶圆厂、材料供应商或AI硬件整合商建立战略合作伙伴关系，可以实现更快的良率提升、产能扩大和成本控制，并整体支持全球存储器依赖应用的增长。
   
• 逻辑IC市场是增长最快的细分市场，预计在预测期内将以9.7%的复合年增长率增长。随着半导体晶圆厂和无晶圆厂公司加速开发更小、更快、更省电的逻辑IC，以满足来自AI、5G、汽车和边缘计算应用的需求增长，需求正在增长。先进节点缩放将收敛到5nm以下，并进入GAA（全环栅）晶体管架构，而光刻设备，特别是EUV，在非常精密的图案化、缺陷控制和控制多重图案化复杂性方面具有上下文相关性，其中芯片制造商通过提高性能/瓦特和增加晶体管密度来创造价值，同时保持良率或可靠性。
   
• 为了满足这一需求，光刻设备供应商应开发下一代EUV系统，引入更高数值孔径（高NA）、叠加测量和共同优化的光刻胶。与领先的逻辑芯片设计师、晶圆厂和EDA工具提供商的合作，推动工艺集成，减少变异性，并缩短突破性逻辑IC的上市时间，这些IC用于智能设备、自动驾驶汽车和AI加速器。
   

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2024年，北美光刻设备市场占据26.1%的市场份额，并以6.7%的复合年增长率增长，得益于先进半导体制造基础设施、领先芯片制造商和设备供应商的强大存在，以及对高性能IC和先进光刻技术的需求增加，这些需求来自AI、5G和汽车电子领域。
 

• 美国光刻设备行业正在稳步扩大，2024年实现7.2%的复合年增长率，市场规模达28.1亿美元。随着CHIPS和科学法案的实施，美国半导体制造活动增加，以及对先进计算设备的需求增长，以及英特尔、全球晶圆厂和台积电等主要晶圆厂的回流，这一市场正在经历温和增长。半导体工业协会表示，美国正在投资超过50亿美元用于芯片制造基础设施，因此对支持亚5nm和AI集成芯片开发的EUV和DUV光刻工具的需求很高，此外，大学和研发实验室正在增加接触/接近光刻系统用于原型设计和MEMS活动。
   

欧洲光刻设备市场占据21.2%的市场份额，并以7.1%的复合年增长率增长，主要受半导体自主化关注度提升、先进芯片制造投资增加以及汽车、工业自动化和电信部门对EUV光刻需求增长的推动，这些需求得到了区域数字化倡议和绿色技术采用的支持。
 

• 德国市场在2024年达到6.225亿美元的估值，并预计在预测期内以5.8%的复合年增长率增长。德国光刻设备行业保持强劲，并预计将在欧盟芯片法案和欧洲半导体制造公司（ESMC）的支持下进一步融入德国半导体生态系统。德国拥有丰富的工业历史，尤其是在精密光学领域，以及强大的汽车行业和规模可观的电信和工业电子行业，这些因素与区域内高科技光刻光学供应商的存在共同推动了对光刻设备的需求。德国继续在全球供应链中发挥关键作用，通过出口TSOF和光刻设备所需的光学设备，同时与台湾积体电路制造公司（TSMC）、英飞凌和博世合作建立小型晶圆厂，特别是在汽车领域。
   
• 硬件供应商应当投入精力与本地光学供应商（如蔡司）直接合作。同时支持国家晶圆厂倡议，提供专为世界级汽车级质量和工业应用半导体定制的光刻设备。通过与德国创新集群（例如硅谷萨克森#esim或硅谷经济）或研究机构的直接对接——无论是通过市场准入还是之前的参与——他们可以更好地巩固其在精密光刻和为汽车、清洁技术以及数字化推动所生产的前端设备领域的领导地位。
   
• 英国光刻设备市场预计在2034年达到16.6亿美元。随着英国通过针对性投资、学术发现流程和新晶圆厂的发展，其半导体生态系统正在壮大。政府行动如10亿英镑的半导体战略正在积极推动新增产能的建设，特别是针对汽车系统和工业应用的化合物半导体和先进材料芯片。同时，来自当地创新者（在达勒姆）和威尔士南部化合物半导体设施群的能源支持了对接触式、投影式和EUV等光刻设备的本地需求。
   
• 制造商需要支持模块化光刻系统，用于低至中等产量生产、原型对准以及特种化合物半导体产出。通过与大学相关的清洁室和开放式晶圆厂合作，制造商可以为英国的研发活动和研发转产活动提供可扩展且经济实惠的选项。
   

亚太地区是光刻设备市场规模最大且增长最快的地区，预计在预测期内将以8.6%的复合年增长率增长，主要受中国、台湾和韩国半导体制造快速扩张的推动，以及消费电子需求的增加，以及政府支持的芯片制造和创新投资，涵盖5G、AI和汽车等领域。
 

• 中国光刻设备行业预计将显著增长，到2034年将达到32.8亿美元。中国因其积极推动半导体自给自足、国内芯片需求增长以及先进制造业投资而呈现前所未有的机遇。政府的"中国制造2025"计划以及对外国半导体设备日益严格的限制，正在推动本土化晶圆厂和后端设施的大规模建设。这为本土晶圆厂在扩大逻辑IC、存储器和功率半导体生产时对DUV和EUV光刻系统的需求创造了巨大机遇。
   
• 为了保持竞争优势，公司应当将光刻系统定制化以适应中国的本土工艺技术，并与本地设备供应商和研究机构合作。重要的做法是与国家标准保持一致，优化与本土制造生态系统的兼容性，并应对当前和未来地缘政治及出口管制现实带来的供应链风险。
   
• 印度光刻设备市场预计在预测期内将以11.3%的复合年增长率显著增长。印度市场正在经历增长，原因在于国家推动电子自给自足、半导体需求增加以及有利于印度半导体制造的政策网络，如印度半导体使命（ISM）。在消费电子、汽车和电信领域强劲增长的基础上，随着对本土芯片制造和设计的支持不断增强，全球和本土玩家都在探索在印度建立（或扩大）制造业的机会。印度的科技中心正在涌现出无晶圆厂半导体初创公司和研发设施，这进一步推动了对现代光刻能力的需求。
   
• 为了成功，供应商必须提供可扩展的设备和支持服务，价格合理，适合研发和中等规模生产。本地化至关重要，同时需要为晶圆厂工程师提供培训项目，并与印度的PLI（生产链接激励）计划保持一致。与本土晶圆厂、本土学术机构和印度政府支持的半导体倡议合作将是保持在快速发展的市场中相关和竞争力的重要因素。
   

拉丁美洲占据11.5%的市场份额，并以7.9%的复合年增长率增长，主要受消费电子采用率提升、区域半导体封装和测试投资增加以及汽车、电信和医疗行业对先进封装解决方案需求增长的推动。
 

• 巴西光刻设备市场预计在预测期内将以7.0%的复合年增长率增长。随着该国努力建立本土半导体产能和电子制造业，以减少对进口电子产品的依赖，该市场正在增长。政府倡议推动公共服务数字化、5G网络部署和工业基础设施升级，增加了对先进微电子和集成电路制造的本地需求。巴西汽车电子行业正在快速增长，而物联网和AI相关设备在农业和智慧城市中的新应用正在涌现，促使研究机构和科技园区开始探索本地化芯片生产和光刻设备供应商的商业机会。
   
• 制造商需要提供相对低成本且紧凑的光刻系统，以适应试点晶圆厂、研究实验室和学术用途。制造商与巴西大学、创新集群和联邦资助的技术培训计划建立合作伙伴关系也很重要。对巴西监管标准有清晰理解，并能推动半导体工程人才培养和职业发展的光刻设备制造商将最有能力服务于巴西正在建设的微电子生态系统。
   
• 阿根廷光刻设备市场预计在预测期内将以8.9%的复合年增长率增长。随着国家指导和实施国家技术政策以刺激本地创新、芯片研究的大学合作以及数字工业和经济政策，阿根廷市场正在变化和改善。随着对电子独立性的重视程度提高，阿根廷在提供半导体培训中心方面的努力正在增加，这些培训中心将学术机构和实验与国家实验室联系起来。精准农业、电信、汽车电子及相关工业化部门正在兴起，并创造了对小型、教育用光刻系统的初步需求，这些系统将使研究和开发以及未实现的试点生产成为可能。
   
• 制造商需要考虑低成本、模块化的光刻平台以满足国家基础设施需求和明确的技能发展机会。与大学、政府技术委员会以及区域创新集群或组织的合作将是建立和实施可扩展解决方案的重要因素。在现场提供实地技术支持、培养本地技能并提供升级途径的公司将对在该小但战略重要的区域市场中建立信任和持续存在至关重要。
   

中东和非洲无线显示市场在2024年估值为12亿美元。市场增长受到数字基础设施扩大、国内半导体制造兴趣增加以及国防、电信和汽车等领域先进电子需求增长的推动。
 

• 阿联酋光刻设备市场在2024年达到3.8642亿美元的估值，预计在预测期内将以7.5%的复合年增长率增长。阿联酋半导体行业的增长反映了国家对先进制造的承诺、半导体研发资金的增加以及对多元化、知识密集型经济的长期愿景。战略性自由贸易区与阿布扎比工业战略以及迪拜对智能电子的承诺，为芯片设计、纳米图案和电子组装的国际和区域设计师创造了一个友好的环境。本地大学正在将旧一代、翻新的光刻设备整合到MEMS和纳米器件课程中，而试点生产线和敏捷电子初创企业则瞄准紧凑型、无模板的印刷系统，以降低逻辑和MEMS传感器原型的风险。
   
• 知名研究机构、科技园区和政府支持的创新孵化器正在与全球光刻设备供应商建立正式联系，以培育一个可持续的生态系统。市场采用将取决于提供适用于小批量、定制化生产的多功能、易用的光刻设备。能够将资本设备与本地化、符合阿联酋标准的安全锁定、现场操作培训以及面向增长的模块化升级途径相结合的供应商将与该国在精密制造价值链方面的韧性目标相一致。
   
• 南非无线显示市场预计在2034年将达到2.1亿美元。该设备市场的增长受到国内半导体研究兴趣增加、政府对鼓励电子制造的承诺加强以及大学继续发展纳米技术和微电子课程的推动。尽管该国尚未具备大规模芯片制造能力，但机构和初创企业现在正在为MEMS开发、传感器原型和纳米技术学术培训购买光刻设备。
   
• 在这个市场上取得成功需要供应商提供价格合理、紧凑且低维护的光刻系统，这些系统在资源有限或研究型环境中能够可靠运行。供应商可能需要与南非大学、科学委员会和孵化器密切合作，以帮助开发人才和本地化研发。提供高价值技术支持、可扩展的试点生产系统以及与南非政府政策目标一致的系统也将利用市场的长期前景。
   

光刻设备市场份额

• 前五大公司ASML Holding N.V.、Nikon Corporation、Canon Inc.、Veeco Instruments Inc.和Applied Materials, Inc.共占据约90.6%的市场份额。这种集中度是由于这些公司对关键光刻技术的严格控制，包括对极紫外（EUV）系统、深紫外（DUV）平台和高性能光学的专有控制。ASML在EUV领域几乎垄断，而Nikon和Canon则拥有多年DUV扫描仪的经验。它们主导了先进半导体生产和旧技术。Veeco和Applied Materials提供互补的图案化和测量集成到光刻中，它们也投资于硬件和软件能力，提供与刻蚀和检测工具捆绑的解决方案，并拥有庞大的知识产权（IP）组合，为新进入者在资本和创新驱动的行业中设置了巨大的进入壁垒。
   
• ASML Holding N.V.以其在极紫外（EUV）光刻系统上的压倒性主导地位，与领先芯片制造商TSMC、Intel和三星的专业供应关系，以及纳米级图案的无与伦比的精度，控制着光刻设备行业约80.1%的份额。ASML的战略优势源于其专有的EUV技术、垂直供应链以及在高NA平台上的长期可持续研发承诺。此外，其领导地位得到了显著的进入壁垒、全球EUV领域几乎没有竞争以及一个强大的服务生态系统的支持，该生态系统促进了全球所有晶圆厂的持续升级和运行时间优化。
   
• Nikon Corporation在无线显示市场中占据约4%的份额。这得益于Nikon在高精度光学、i线和DUV光刻系统的广泛经验以及与日本和日本以外的存储器和逻辑IC制造商的长期关系。Nikon以其可靠的系统和成熟节点生产的成本效益解决方案而闻名。其在精密测量、产品在半导体晶圆厂中的集成以及在下一代浸没和多图案化技术研发方面的承诺，都使得最终用户能够精确工作。
   
• Canon Inc.占据3.0%的市场份额。Canon的专注点在于其FPA系列光刻系统以及在成熟和特殊节点半导体制造中设计的光学和成像技术的显著优势。该公司的工具可以为MEMS、传感器和功率器件制造商服务，即使在设计中需要紧凑和经济型系统时也是如此。Canon的开放哲学确保其工具可以在不同的晶圆厂环境中使用，以及在掩膜对准和纳米印刷技术方面的创新。
   
• Veeco Instruments Inc.占据约1.5%的市场份额，这得益于其在先进封装、化合物半导体和纳米制造方面的优势。Veeco以其激光退火和离子束刻蚀系统而闻名，并服务于光子学、MEMS和先进显示等专业应用。Veeco通过开放架构工具和工艺灵活性实现商业优势，与研究机构和晶圆厂的协作性方法使其在3D集成和异质封装等新兴市场中具有特殊优势，以保持在精密驱动的下一代光刻工艺中的竞争地位。
   
• Applied Materials Inc.目前占据约2.0%的市场份额，这得益于其在设备图案化步骤中的材料工程和沉积技术知识。它以用于EUV多图案化的图案塑形和先进刻蚀解决方案领先，这些解决方案满足了逻辑和存储器设备日益细化节点的复杂需求。该公司在半导体价值链中积累了深厚的专业知识，其Endura、Centura和Sym3系统展现了卓越的水平。Applied Materials, Inc.还与领先的晶圆厂和基板供应商合作，其AIx平台将帮助优化任何数据集，使用基于数据的解决方案，从而巩固其作为推动光刻发展的战略使能者的地位。
   

光刻设备市场公司

光刻设备行业中运营的主要参与者包括：
 

• ASML Holding N.V.
• Nikon Corporation
• Canon Inc.
• Veeco Instruments Inc.
• Applied Materials, Inc.
• Onto Innovation Inc.
• KLA Corporation
• Hitachi High-Tech Corporation
• Gigaphoton Inc.
• Cymer LLC
• Ushio Inc.
• Hamamatsu Photonics K.K.
• Xenics NV
• Lam Research Corporation
• SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.

光刻设备行业新闻

• 2024年5月，英特尔收购了ASML 2024年全部高NA EUV光刻机的产量，确保获得当年生产的所有五台设备（每台价值约3.7亿美元）。这一战略举措有效阻止了三星和SK海力士等竞争对手在2025年下半年前获得这些先进工具，巩固了英特尔在下一代芯片制造方面的领先地位。
   
• 2025年3月，中国半导体设备巨头诺亚科技集团以约16.9亿元人民币（2.33亿美元）收购了国产光刻涂胶设备制造商京东方光刻9.5%的股份。这一举措通过将关键前端涂胶和开发工具整合到其产品组合中，增强了诺亚科技的能力，并推动了中国建立自主半导体设备生态系统的努力。
   

光刻设备市场研究报告涵盖了行业的深入分析，并提供了2021年至2034年各细分市场的收入预测（百万美元）：

按技术类型划分的市场

• 接触式光刻
• 接近式光刻
• 投影式光刻
• 纳米印刷光刻
• 电子束（E-beam）光刻
• 极紫外（EUV）光刻
• 其他

按设备类型划分的市场

• 步进系统
• 扫描系统
• 轨迹系统
• 测量与检测工具
• 掩膜对准仪
• 其他

按光源类型划分的市场

• 汞灯
• 准分子激光
• 氪氟化物（KrF）
• 氩氟化物（ArF）
• 激光等离子体（LPP - 用于EUV）

按应用类型划分的市场

• 存储器件
• 逻辑IC
• 代工（合同制造）
• IDM（集成设备制造商）
• 模拟与混合信号IC
• MEMS与传感器制造
• 先进封装（2.5D/3D IC）
• 显示面板（LCD、OLED）

上述信息适用于以下地区和国家：

• 北美
  • 美国
  • 加拿大
• 欧洲
  • 德国
  • 英国
  • 法国
  • 意大利
  • 西班牙
  • 荷兰
  • 其他欧洲国家
• 亚太地区
  • 中国
  • 印度
  • 日本
  • 韩国
  • 澳大利亚
  • 其他亚太地区
• 拉丁美洲
  • 巴西
  • 墨西哥
  • 阿根廷
  • 其他拉丁美洲国家
• 中东和非洲
  • 沙特阿拉伯
  • 南非
  • 阿拉伯联合酋长国
  • 其他中东和非洲国家