作者:
Suraj Gujar,
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极紫外(EUV)光刻设备市场 大小和分享 2025 - 2034
报告 ID: GMI15195
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发布日期: November 2025
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极紫外(EUV)光刻设备市场
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极紫外(EUV)光刻设备市场
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极紫外光刻设备市场规模
2024年全球极紫外光刻设备市场规模估计为86.6亿美元,2024年销量为40台。预计市场规模将从2025年的97.1亿美元增长至2030年的183.8亿美元,2034年达到339.1亿美元,销量为142台,预计在2025-2034年的预测期内,市场价值复合年增长率为14.9%,销量复合年增长率为13.8%。
极紫外(EUV)光刻设备市场关键要点
市场规模与增长
主要市场驱动因素
挑战
机遇
主要参与者
极紫外光刻设备市场趋势
- 推动市场增长的主要因素是行业从传统的193nm浸没式光刻向EUV过渡,用于先进节点制造。这一变化将从根本上改变半导体制造流程,从复杂的多重光刻方法转向更简单的单次曝光方法。过渡时间表显示出加速的大规模采用,如EUV层数每片芯片的增加。在7nm节点中,EUV层数从5-10层增加到3nm节点的15-20层,预计在2nm制造中将达到25层以上。
- 高数值孔径(NA)极紫外(EUV)系统的引入标志着光刻技术的下一步发展,以实现2纳米(nm)及以下节点的分辨率要求。高NA EUV系统采用数值孔径为0.55的光学元件,而非0.33,从而实现8nm的最小特征尺寸,而非13nm。
解决方案分辨率的提升对于突破现有技术已知和定义的极限,以维持摩尔定律的持续发展至关重要。例如,ASML的TWINSCAN EXE:5000高NA EUV系统售价为3.7亿至4亿美元,而其标准EUV系统售价为2亿美元,该系统于2023年12月首次交付给英特尔,2024年底后交付给台积电。领先晶圆厂发布的高NA EUV设备部署路线图显示,计划从2024年至2025年开始安装设备以开发2纳米节点,并计划在2026年至2027年进行量产制造。 另一个推动市场增长的重要原因是从传统的193纳米浸没光刻技术转向EUV技术用于先进节点制造,以及该技术在行业中的采用。这一转变标志着半导体制造方法的变革,包括放弃复杂的多层图案化工艺,转而采用EUV单次曝光方法。采用率表明,随着EUV层数的增加,市场增长也会相应增加。目前在7纳米节点上,每片芯片的EUV层数预计将从5-10层增加到2纳米节点的25层,3纳米节点的15-20层。极紫外光刻设备市场分析
从技术类型来看,该市场被划分为标准EUV系统和高NA EUV系统。
根据设备类型,极紫外光刻设备市场被细分为EUV扫描仪、EUV光学系统、EUV光源、EUV掩模与空白片、EUV测量与检测设备、EUV支持系统以及EUV软件与计算系统。
根据技术节点应用,极紫外光刻设备市场被细分为7nm逻辑节点、5nm逻辑节点、3nm逻辑节点、2nm逻辑节点、次2nm逻辑节点、先进DRAM(10nm级及以下)和先进NAND闪存。
北美在2024年占市场份额的25.2%,并预计以14.9%的复合年增长率增长。这主要受到英特尔在先进节点制造中积极部署EUV技术的影响,以及需要EUV制造服务的主要无晶圆厂公司的集中。通过投资高NA EUV技术,英特尔不仅成为技术领导者,还成为首个拥有下一代光刻能力的公司。
欧洲占据市场15.6%的份额,2024年复合年增长率为13.3%。这一增长主要得益于IMEC和CEA-Leti等机构的广泛研发活动,以及需要EUV能力的特种半导体制造商。欧洲联盟的多项倡议,包括芯片联合行动,为EUV技术的开发和部署提供了必要的资金支持。
亚太地区以56.2%的市场份额和15.5%的复合年增长率主导市场,这主要归功于全球顶尖半导体制造商的集中以及该地区对先进节点技术的大力投资。该地区因此成为台积电、三星、SK海力士等公司的所在地,而这些公司又是EUV技术的最大客户,因为它们代表了主要的晶圆代工厂和存储器制造商。
拉丁美洲极紫外(EUV)光刻设备市场预计将在2034年超过2.577亿美元。该地区对先进计算和汽车电子的需求成为推动下一代光刻系统投资的主要动力,以提高芯片微型化和生产效率。
预计2034年中东和非洲地区极紫外(EUV)光刻机市场将超过5.528亿美元。中东和非洲地区EUV光刻设备市场的增长主要归因于阿联酋和以色列等国家正在兴起的半导体组装中心,以及电子、航空航天和国防领域的投资支持。
极紫外光刻设备市场份额
极紫外光刻设备市场公司
极紫外(EUV)光刻设备市场中运营的主要公司包括:
极紫外光刻设备市场的主要参与者构成了一个完整的生态系统,不仅涉及系统集成,还包括关键组件、材料和支持服务。市场结构反映了EUV技术的高度专业化特性以及为交付功能性光刻系统所需的长供应链。
ASML Holding N.V. 是EUV扫描仪系统的无可争议领导者,其TWINSCAN NXE系列代表了当前生产EUV系统的最新一代,而TWINSCAN EXE:5000高NA系统则定义了下一代技术前沿。Coherent Corporation通过其高功率激光系统和组件在EUV光源技术方面占据关键地位。该公司的工业激光专业知识使其能够提供用于激光产生等离子体(LPP)EUV光源所需的千瓦级CO2激光器
Jenoptik AG提供精密光学组件和系统,这些组件和系统是EUV生态系统的重要组成部分。这包括专用光学和测量设备。该公司的精密制造和光学系统技术不仅有助于EUV扫描仪的开发,还支持了晶圆厂层面的测量需求。
作为EUV光刻系统的补充,Applied Materials, Inc.提供可无缝集成的工艺设备和材料解决方案。该公司的战略举措包括创建EUV兼容的沉积和刻蚀工艺、使用EUV应用的先进材料,以及开发集成工艺解决方案,以最大化EUV的性能。
Veeco Instruments Inc.、SUSS MicroTec SE、EV Group E. Thallner GmbH、SET Corporation、Oxford Instruments plc和Plasma-Therm LLC是六家为EUV晶圆厂实施和运营提供专用工艺设备、材料处理系统和其他配套技术的贡献者。
72.5%
2024年集体市场份额为87.6%
极紫外光刻设备行业新闻
极紫外光刻设备市场研究报告涵盖了行业的深入分析,包括2021年至2034年的收入(亿美元)和数量(台)的估计与预测,针对以下细分市场:
按技术类型划分的市场
按设备类型划分的市场
按技术节点应用划分市场
按终端用途类型划分市场
按终端行业划分市场
以下信息适用于以下地区和国家:
研究方法、数据来源和验证过程
本报告基于结构化的研究流程,围绕直接的行业对话、专有建模和严格的交叉验证构建,而不仅仅是桌面研究。
我们的6步研究流程
1. 研究设计与分析师监督
在GMI,我们的研究方法建立在人类专业知识、严格验证和完全透明的基础上。我们报告中的每一个洞察、趋势分析和预测都是由理解您市场细微差别的经验丰富的分析师开发的。
我们的方法通过与行业参与者和专家的直接交流整合了广泛的一手研究,并以来自经过验证的全球来源的全面二手研究作为补充。我们应用量化影响分析来提供可靠的预测,同时保持从原始数据源到最终洞察的完全可追溯性。
2. 一手研究
一手研究是我们方法论的基础,对整体洞察的贡献率近乎80%。它涉及与行业参与者的直接交流,以确保分析的准确性和深度。我们的结构化访谈计划覆盖区域和全球市场,包括来自高管、总监和主题专家的输入。这些互动提供战略、运营和技术视角,实现全面的洞察和可靠的市场预测。
3. 数据挖掘与市场分析
数据挖掘是我们研究过程的关键部分,对整体方法论的贡献率约为20%。它包括通过主要参与者的收入份额分析来分析市场结构、识别行业趋势和评估宏观经济因素。相关数据从付费和免费来源收集,以建立可靠的数据库。然后将这些信息整合起来,以支持一手研究和市场规模估算,并由分销商、制造商和协会等关键利益相关者进行验证。
4. 市场规模测算
我们的市场规模测算建立在自下而上的方法之上,从通过一手访谈直接收集的企业收入数据开始,同时结合制造商的产量数据以及安装或部署统计数据。这些输入数据在各地区市场进行汇总,以得出一个基于实际行业活动的全球估算值。
5. 预测模型与关键假设
每项预测均包含以下内容的明确文档记录:
✓ 主要增长驱动因素及其预期影响
✓ 制约因素与缓解场景
✓ 监管假设与政策变动风险
✓ 技术普及曲线参数
✓ 宏观经济假设(GDP增长、通货膨胀、汇率)
✓ 竞争格局与市场进入/退出预期
6. 验证与质量保证
最终阶段涉及人工验证,领域专家对筛选后的数据进行手动审查,以发现自动化系统可能遗漏的细微差异和语境错误。这种专家审查增加了一个关键的质量保证层,确保数据与研究目标和领域特定标准一致。
我们的三层验证流程确保数据可靠性最大化:
✓ 统计验证
✓ 专家验证
✓ 市场实实检验
信任与可信度
已验证的数据来源
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安全与国防行业期刊及贸易媒体
行业数据库
专有及第三方市场数据库
监管文件
政府采购记录及政策文件
学术研究
大学研究及专业機构报告
企业报告
年度报告、投资者演示及申报文件
专家访谈
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覆盖30余个行业领域的逶13,000项已发布研究
贸易数据
进出口量、HS编码及海关记录
研究与评估的参数
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