EUV 마스크 검사 시장 크기 및 공유 2026-2035

EUV 마스크 검사 시장 규모

글로벌 EUV 마스크 검사 시장은 2025년 기준으로 12억 달러 규모로 평가되었습니다. 이 시장은 2026년 13억 달러에서 2031년 21억 달러, 2035년 33억 달러로 연평균 11.1%의 성장률(CAGR)을 보일 것으로 전망되며, 글로벌 마켓 인사이트 Inc.가 발간한 최신 보고서에 따르면在此期间在此期间 예측 기간 동안 예상됩니다.

이 시장의 성장은 고급 칩 제조에서 EUV 리소그래피의 채택이 증가하면서 고정밀 결함 감지 수요가 높아지고 있습니다. 선두급 노드에서의 마스크 복잡성 증가, EUV 확률적 동작으로 인한 결함 위험 증가, EUV 마스크 생산 인프라 확장은 고급 검사 도구의 채택을 더욱 지원하고 있습니다.与此同时, 반도체 제조업체들은 AI, HPC, 프리미엄 모바일 프로세서 등에서 제로 디펙트 제조를 추구하면서 차세대 액티닉 및 비액티닉 검사 솔루션에 대한 투자를 강화하고 있습니다.

EUV 마스크 검사 시장은 고급 로직 및 메모리 생산에서 EUV 리소그래피 사용이 증가하면서 성장하고 있습니다. EUV 시스템이 2nm 이하 노드에 채택됨에 따라 패턴 민감도와 결함 위험으로 인해 고정밀 마스크 검사의 필요성이 커지고 있습니다. 2026년 3월에는 imec가 ASML로부터 세계에서 가장 진보된 High-NA EUV 리소그래피 시스템을Received 수령하여 차세대 디바이스 제조를 위한 초기 단계 생태계 준비를 가능하게 했습니다. 이러한 발전은 대량 생산에 앞서 결함 없는 마스크를 보장하는 EUV 마스크 검사 도구에 대한 수요를 강화합니다. EUV 채택 확대는 액티닉 및 비액티닉 마스크 검사의 빈도와 정밀도 요구 사항을 직접적으로 증가시킵니다.

또한, EUV 마스크 검사 시장은 AI 가속기, HPC 프로세서 및 기타 고급 반도체 디바이스의 제로 디펙트 제조 수요에 의해 더욱 촉진되고 있습니다. 미세한 결함조차도 이러한 반도체의 성능과 수율에 악영향을 미칠 수 있기 때문에 EUV 마스크는 매우 높은 청결도와 결함이 없어야 합니다. 미국 상무부는 2025년 1월에 CHIPS Act 보조금을 발표했는데, 이는 Corning이 HPFS 퓨즈드 실리카 및 ULE 글라스 최대 3,200만 달러 상당을 제조할 수 있도록 허용할 것입니다. 이러한 재료는 EUV 리소그래피 기계와 EUV 포토마스크의 중요한 구성 요소입니다. 이 투자는 결함 없는 마스크 제조를 위한 고순도 재료의 국내 공급을 강화합니다. 이러한 정부 지원 이니셔티브는 마스크 무결성을 보장하고 재작업을 줄이며 고급 노드에서 수율 안정성을 지원하기 위해 고급 EUV 마스크 검사 시스템의 채택을 강화합니다.

EUV 마스크 검사 시장은 2022년 8억 5,220만 달러에서 꾸준히 성장하여 2024년에는 10억 달러에 달했습니다. 이 시장은 차세대 디바이스용 EUV 리소그래피를 채택하는 고급 반도체 제조업체들로 인해 정밀한 레티클 검증 및 결함 제어 수요가 증가하면서 확장되고 있습니다. 마스크 복잡성 증가, 확률적 변이 위험, 2nm 이하 기술로의 전환은 팹(fab)들이 더 정교한 검사 시스템을 사용하도록 이끌고 있습니다.与此同时, EUV 마스크 인프라에 대한 투자 증가와 AI 및 고성능 프로세서에 대한 품질 요구 사항 강화는 생산 전반에 걸쳐 신뢰할 수 있고 결함 없는 마스크에 대한 수요를 공고히 하고 있습니다.

EUV 마스크 검사 시장 트렌드

• 2022년부터 가시광선 기반의 광학 방법으로는 검출되지 않는 인쇄 가능한 결함과 관련된 문제들이 대두되면서 액티닉 EUV 마스크 검사가 주목받기 시작했습니다. EUV 리소그래피와 마스크 검사 공정에서 동일한 파장을 사용해야 한다는 필요성으로 인해 이 추세는 2030년까지 지속될 전망입니다. 또한 서브-2nm 패터닝의 요구가 높아지면서 더 높은 정밀도가 필요해졌고, 이는 결함 없는 제조를 위해 액티닉 검사가 필수적이 되었습니다.
• 2021년부터 EUV 펠리클의 도입이 본격화되었습니다. 이는 고부피 EUV 제조 수요 증가와 입자 오염으로부터 보호하기 위한 필요성 때문이었습니다. EUV 펠리클이 마스크 제작 공정에 적합하도록 지속적인 기술 개발이 이루어지면서 이 단계는 2029년까지 지속될 것으로 예상됩니다. 펠리클은 마스크 및 펠리클 itself의 품질 평가를 위한 특수 검사 절차가 필요하기 때문에 이러한 성장이 지속 가능합니다.
• 2023년부터 EUV 마스크의 복잡성이 증가하면서 결함을 신속하고 정확하게 분류할 필요가 생겼고, AI 기반 마스크 검사 분석이 시작되었습니다. 마스크 검사 데이터의 양이 증가함에 따라 이 추세는 2031년까지 지속될 전망입니다. 분석 시간 단축, 확률적 결함의 예측 탐지 개선, 그리고 고급 기술 노드에서의 안정적인 마스크 품질 지원을 위해 지속될 것입니다.

EUV 마스크 검사 시장 분석

검사 단계별로 전 세계 EUV 마스크 검사 시장은 마스크 블랭크 검사, 패터닝 후 검사, 재자격 및 인라인 검사로 구분됩니다.

• 패터닝 후 검사 부문이 2025년 시장을 주도하며 43.5%의 점유율을 차지했습니다. 이 단계는 마스크 패터닝 직후 레티클 품질을 검증하는 데 필수적인 역할을 합니다. 다층 결함, 흡수체 이상, 패턴 배치 변동을 감지하여 마스크가 펠리클 장착이나 생산 사용 단계로 넘어가기 전에 문제를 사전에 방지합니다. 웨이퍼 수준의 결함을 예방하는 핵심 기능으로 인해 마스크 샵과 고급 EUV 라인 전반에 걸쳐 광범위하게 채택되고 있습니다.
• 재자격 및 인라인 검사 부문은 연평균 12%의 성장률(CAGR)을 보일 것으로 예상됩니다. 고부피 제조 환경에서 EUV 마스크 사용이 증가하면서 반복되는 노출 사이클 동안 레티클 열화, 펠리클 상태, 오염을 모니터링하기 위해 빈번한 검사가 필요합니다. 이러한 지속적인 레티클 모니터링에 대한 의존도가 높아지면서 자동화되고 고해상도 검사 장비에 대한 수요가 가속화되고 있으며, 이 부문이 가장 빠르게 성장하고 있습니다.
  
  
  이 시장을 형성하는 주요 세그먼트에 대해 자세히 알아보기

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최종 사용자별로 전 세계 EUV 마스크 검사 시장은 상업용 마스크 샵, 자체 생산 마스크 샵, 파운드리 및 IDM(내부 검사 포함)으로 나뉩니다.

• 상업용 마스크 샵 부문이 2025년 시장을 주도하며 5억 2,370만 달러(USD)의 가치를 기록했습니다. 이는 다양한 파운드리, IDM, 팹리스 고객을 대상으로 광범위한 참여를 펼치면서 EUV 마스크 검사에 대한 수요를 견인했기 때문입니다. 이러한 시설은 고부피 레티클 생산, 수리, 재자격을 지원하며 결함 없는 출력을 유지하기 위해 지속적인 검사가 필요합니다. 아웃소싱 레티클 공급자로서 주요 기술 노드 전반에 걸쳐 고급 검사 장비의 꾸준한 활용을 보장합니다.
• 포획 마스크 샵 부문은 예측 기간 동안 연평균 성장률(CAGR) 12.1%로 성장할 것으로 예상됩니다. 이 성장은 선도적인 칩 제조업체들이 고급 로직, AI, HPC 디바이스 로드맵을 지원하기 위해 자체 EUV 마스크 생산을 확대하면서 발생합니다. 내부 레티클 제어 전환으로 검사 강도가 증가하며, 이러한 샵들은 차세대 디자인에 대한 엄격한 품질 표준과 빠른 턴어라운드 시간을 우선시합니다.

검사 기술에 따라 글로벌 EUV 마스크 검사 시장은 광화학적 검사 시스템과 비광화학적 검사 시스템으로 나뉩니다.

• 광화학적 검사 시스템 부문은 2025년 63.3%의 시장 점유율로 선도하고 있으며, EUV 리소그래피에 사용되는 동일한 파장에서 EUV 마스크를 검사할 수 있는 능력 때문입니다. 이는 광학 시스템으로는 감지할 수 없는 인쇄 가능한 결함을 정확하게 감지할 수 있게 합니다. 고급 노드 자격 및 레티클 인증에서 필수적인 역할을 수행하기 때문에 EUV 마스크 검사에 가장 널리 배치된 기술입니다.
• 비광화학적 검사 시스템 부문은 예측 기간 동안 연평균 성장률(CAGR) 13.4%로 성장할 것으로 예상됩니다. 이 성장은 마스크 샵과 팹이 증가하는 마스크 볼륨에 대한 초기 단계 결함 스크리닝 용량을 확대하면서 지원됩니다. 이 시스템은 고속 스캐닝 기능과 기판 결함 및 패턴 왜곡의 정확한 감지 능력을 제공합니다. 마스크 개발 및 검사 비용의 사이클 타임을 단축할 수 있는 장점이 이들의 사용을 촉진하고 있습니다.
  
  

북미 EUV 마스크 검사 시장

북미는 2025년 EUV 마스크 검사 산업의 28.5% 점유율을 차지했습니다.

• 북미 EUV 마스크 검사 산업은 반도체 제조에 대한 대규모 투자와 EUV 마스크 시설 설립으로 성장하고 있습니다._FOUNDRY 및 로직 용량 확충을 통한 기술의 신속한 도입으로 최첨단 디바이스 제조를 위한 정밀 EUV 마스크 검사의 수요가 급증했습니다.
• 국가 차원의 반도체 역량 강화를 위한 지원 정책도 북미 시장의 성장을 뒷받침하고 있습니다. CHIPS 및 과학법에 따른 프로그램은 EUV 관련 재료, 마스크, 리소그래피 공급망에 자금을 지원하여 지역 내 EUV 등급 기판 및 마스크 구성 요소 생산을 늘리고 있습니다. 국내 팹이 고급 노드 용량을 확대함에 따라 고해상도 EUV 마스크 검사 시스템에 대한 의존도가 계속 증가하여 임무 중요 제조 공정에서 결함 없는 레티클을 보장할 수 있습니다.

미국 EUV 마스크 검사 시장은 2022년과 2023년에 각각 6억 8,530만 달러와 7억 5,890만 달러로 평가되었습니다. 시장은 2024년 8억 4,230만 달러에서 2025년 9억 3,710만 달러로 성장했습니다.

• 미국 시장은 국내 반도체 제조 및 고급 리소그래피 역량 강화를 목표로 한 주요 연방 정책으로 인해 확장되고 있습니다. 국가 프로그램을 통한 대규모 투자가 EUV 관련 재료, 마스크 생산, 레티클 인프라 구축을 가속화하여 고급 칩 제조를 지원하기 위한 정확한 마스크 검사의 필요성을 증가시키고 있습니다.
• 또한, CHIPS 법에 따른 자금 지원은 결함 없는 리소그래피를 위한 EUV 재료, 마스크 블랭크, 정밀 구성 요소 분야의 미국 발전을 지속적으로 지원하고 있습니다. 최근 연방 수상은 EUV 등급 유리, 광학 장치, 마스크 기술의 국내 생산 확대를 목표로 하며, 차세대 로직, AI, HPC 디바이스 제조와 연계된 제로 결함 레티클 표준 달성을 위한 국가의 초점을 강화하고 있습니다. 이러한 정책은 차세대 로직, AI, HPC 디바이스 제조와 연계된 EUV 마스크 검사 솔루션의 핵심 시장으로서 미국의 위상을 공고히 하고 있습니다.

유럽 EUV 마스크 검사 시장

유럽 시장 규모는 2025년 기준으로 2억 930만 달러에 달했으며, 예측 기간 동안 높은 성장세를 보일 것으로 예상됩니다.

• 유럽의 EUV 마스크 검사 산업은 반도체 주권과 첨단 제조 역량에 대한 지역적 관심 증가로 인해 성장하고 있습니다. 유럽 반도체법(European Chips Act)은 지역 EUV 관련 인프라, 마스크 소재, 첨단 노드 생산에 대한 대규모 투자를 주도하며, 지역 팹에서 고정밀 EUV 마스크 검사 시스템에 대한 수요를 증가시키고 있습니다. 유럽의 고부가 반도체 연구개발(R&D) 강조는 고급 레티클 검사 기술의 채택을 더욱 강화하고 있습니다.
• 또한 유럽의 자동차, 산업 자동화, 항공우주 반도체 응용 분야 수요가 증가하면서 EUV 기반 장치에 대한 의존도가 높아지고 있습니다. 지역 제조업체들이 복잡한 논리 회로와 차세대 컴퓨팅 아키텍처로 전환함에 따라 결함 없는 EUV 마스크에 대한 요구가 더욱 중요해지고 있습니다.

독일은 유럽 EUV 마스크 검사 산업을 주도하며, 높은 성장 잠재력을 보여주고 있습니다.

• 독일의 EUV 마스크 검사 시장은 반도체 기술 개발에 대한 국가적 관심 증가로 확장되고 있습니다. 리소그래피 분야의 연구개발 투자 증가와 소재 과학 및 반도체 가공 기술 발전으로 인해 정밀 제조에 대한 수요가 높아지면서 EUV 마스크 검사 장비에 대한 요구가 증가하고 있습니다.
• 또한 독일의 국내 반도체 역량 확장을 위한 정책이 시장의 성장을 견인하고 있습니다. 선진 칩 생산, EUV 등급 소재 개발, 전략적 제조 인프라를 지원하는 국가 프로그램은 EUV 마스크 검사 시스템의 채택을 높이고 있습니다. 독일 팹이 선도적인 논리 회로와 특수 산업용 반도체를 생산함에 따라 레티클 품질 관리에 대한 요구는 계속해서 증가할 것입니다.

아시아 태평양 EUV 마스크 검사 시장

아시아 태평양 EUV 마스크 검사 산업은 예측 기간 동안 11.9%의 가장 높은 연평균 성장률(CAGR)을 기록할 것으로 예상됩니다.

• 아시아 태평양 시장은 선진 반도체 제조의 중심지로 성장하고 있습니다. 주요 파운드리 및 메모리 생산업체의 밀집으로 인해 고부피 EUV 리소그래피 채택을 지원하기 위한 정확한 EUV 마스크 검사 수요가 증가하고 있습니다. 논리 회로, 메모리, 첨단 패키징 분야의 지속적인 확장은 차세대 레티클 검사 기술에 대한 의존도를 높이고 있습니다.
• 정부 주도 반도체 프로그램과 대규모 민간 투자는 아시아 태평양 전역의 시장 성장을 가속화하고 있습니다. 국내 EUV 용량 확장, 마스크 제작, 레티클 소재에 초점을 맞춘 지역 이니셔티브는 새로운 팹에서 검사 강도를 높이고 있습니다. 반도체 제조업체가 첨단 노드 생산을 확대함에 따라 고정밀 EUV 마스크 검사 시스템에 대한 지역적 요구는 계속해서 증가할 것입니다.

중국 EUV 마스크 검사 시장은 아시아 태평양 시장에서 상당한 연평균 성장률을 기록할 것으로 추정됩니다.

• 중국의 EUV 마스크 검사 산업은 국내 반도체 제조 확산과 첨단 리소그래피 기술 채택 증가로 성장하고 있습니다. 중국은 논리 회로 및 메모리 용량을 늘리기 위해 투자를 확대하고 있으며, 이는 첨단 생산 라인을 지원하기 위한 결함 없는 EUV 마스크에 대한 수요를 높이고 있습니다. 국산 레티클 및 공정 장비에 대한 수요 증가로 고정밀 검사 솔루션에 대한 요구가 강화되고 있습니다.
• 반도체 자립을 지원하는 정부 정책은 아시아 태평양 전역에서 EUV 마스크 검사 시스템의 채택을 가속화하고 있습니다. 국내 마스크 소재 개발, 리소그래피 부품 제조, 첨단 공정 역량 확대를 위한 프로그램은 새로운 팹에서 검사 강도를 높이고 있습니다. 중국이 AI, 모바일, 고성능 컴퓨팅 칩 생산을 확대함에 따라 신뢰성 높은 EUV 마스크 검사의 필요성은 계속해서 증가할 것입니다.

중동 및 아프리카 EUV 마스크 검사 시장

사우디아라비아 EUV 마스크 검사 산업이 중동 및 아프리카에서 상당한 성장을 경험할 것으로 예상됩니다.

• 사우디아라비아 시장은 사우디 비전 2030에 부합하는 첨단 기술 생산 기지 개발을 위한 정부의 노력 증가로 인해 급속히 성장하고 있습니다. 지역 반도체 제조, 소재 과학 및 디지털 기술에 대한 투자가 향후 반도체 제조 공정에 사용될 검사 장비에 대한 초기 수요를 창출하고 있습니다. 이 지역의 혁신적인 프로젝트들은 신뢰할 수 있는 마스크 품질 관리 장비의 중요성을 강조합니다.
• 고급 디지털 인프라, 데이터 센터 및 고성능 컴퓨팅 이니셔티브의 채택이 증가함에 따라 사우디아라비아 시장의 성장을 더욱 뒷받침하고 있습니다. 국가가 기술 집약적 환경을 구축함에 따라 결함이 없는 EUV 마스크에 대한 요구가 중요 응용 분야에서 안정적인 장치 성능을 지원하기 위해 증가하고 있습니다. 이러한 발전은 사우디아라비아의 장기 기술 로드맵에 부합하는 차세대 EUV 마스크 검사 시스템에 대한 수요를 촉진합니다.

EUV 마스크 검사 시장 점유율

EUV 마스크 검사 산업은 KLA Corporation, Lasertec Corporation, Applied Materials, Inc., ASML Holding N.V. 및 Hitachi High-Tech Corporation을 비롯한 주요 기업들이 이끌고 있으며, 이 기업들은 글로벌 시장의 79.6% 점유율을 차지하고 있습니다. 이러한 기업들은 다층 결함, 흡수체 문제 및 확률적 변동을 탐지하기 위한 고급 actinic 및 비-actinic 검사 플랫폼을 제공합니다. 이들의 기술은 선도적인 로직 및 메모리 응용 분야에서 정밀한 패턴 검증 및 신뢰할 수 있는 레티클 자격을 가능하게 합니다. 마스크 개발, 인증 및 재자격을 포괄하는 종합적인 제품 포트폴리오는 이러한 공급업체들이 EUV 리소그래피 워크플로우에서 필수 불가결한 존재가 되도록 합니다.

이 기업들은 광학 엔지니어링, 고NA EUV 준비 시스템 및 고해상도 이미징 아키텍처에 대한 깊은 전문 지식과 글로벌 서비스 역량을 바탕으로 리더십을 유지합니다. 검사 자동화, 고급 시뮬레이션 도구 및 결함 분석 소프트웨어에 대한 지속적인 투자는 서브-2nm 제조 요구 사항과 밀접하게 연계됩니다. 확장 가능하고 안정적이며 고정밀 검사 솔루션을 제공할 수 있는 능력은 이들을 선진 반도체 팹 및 마스크 샵의 선호 공급업체로Position them as the preferred suppliers for advanced semiconductor fabs and mask shops worldwide.

EUV 마스크 검사 시장 기업

EUV 마스크 검사 산업에서 활동하고 있는 주요 기업은 다음과 같습니다:

• KLA Corporation
• Lasertec Corporation
• Applied Materials, Inc.
• ASML Holding N.V.
• Hitachi High-Tech Corporation
• Tokyo Electron Limited (TEL)
• Onto Innovation Inc.
• SCREEN Semiconductor Solutions
• Carl Zeiss SMT (ZEISS Group)
• Advantest Corporation
• Camtek Ltd.
• Nova Ltd.
• Toray Engineering Co., Ltd.
• RSIC Scientific Instrument Co., Ltd.
• Muetec Inc.

• KLA Corporation

KLA는 EUV 마스크 자격 및 결함 검토를 위한 업계 선도적인 광대역 플라즈마 및 고해상도 광학 검사 플랫폼을 제공합니다. 고급 컴퓨팅 분석 및 레티클 중심 프로세스 제어 도구를 통해 다층, 흡수체 및 확률적 결함을 정밀하게 탐지하여 EUV 마스크 검사 성능의 벤치마크를 설정합니다.

• Lasertec Corporation

Lasertec은 EUV 리소그래피에 사용되는 동일한 파장에서 마스크를 검사할 수 있는 유일한 상용 actinic EUV 마스크 검사 시스템 공급업체입니다. ACTIS 시스템은 인쇄 가능한 EUV 결함에 대한 뛰어난 민감도를 제공하여 actinic 검사 기술에서 독보적인 리더십을 확보하고 있습니다.

• 애플라이드 머티어리얼즈 주식회사

애플라이드 머티어리얼즈는 자체 증착 및 에칭 플랫폼과 연동된 통합 전자빔 및 광학 마스크 검사 솔루션을 제공하며, 공정-장비 공동 최적화를 가능하게 합니다. 고급 패터닝 및 계측 기술은 조기 결함 감지와 선두 주자 EUV 제조 공정에서의 마스크 공정 균일성 향상을 지원합니다.

• ASML 홀딩 N.V.

ASML은 EUV 스캐너 및 High-NA 리소그래피 플랫폼과 밀접하게 연동되는 고도로 특화된 EUV 마스크 계측 및 검사 기술을 제공합니다. 펠리클 솔루션, 계산 리소그래피, 레티클 이미징 도구 등을 포함한 통합 에코시스템은 서브-2nm 마스크 공정에서 전례 없는 검사 정확도를 실현합니다.

• 히타치ハイテク 주식회사

히타치ハイテ크는 고해상도 전자빔 마스크 검사와 CD-SEM 플랫폼에서 탁월한 성능을 발휘하며, EUV 레티클을 위한 나노스케일 결함 특성화를 제공합니다. 전자빔 이미징 정밀도는 상세한 다층 구조 결함 검토 및 레티클 검증을 지원하여 선진 EUV 마스크 공장에게 필수적인 공급업체로 자리매김하고 있습니다.

EUV 마스크 검사 산업 뉴스

• 2025년 12월, 히타치ハイテ크는 SEMICON JAPAN/APCS 2025에서 최신 고해상도 전자빔 검사와 CD-SEM 솔루션을 전시하며 EUV 마스크 결함 감지와 다층 레티클 분석을 목표로 했습니다. 이러한 혁신은 미래 EUV 노드를 위한 더 미세한 결함 감도 요구를 지원합니다.
• 2024년 10월, 라식텍은 ACTIS EUV 마스크 검사 플랫폼의 흡수층 결함 및 다층 이상 감도를 개선하는 enhancements를 발표했습니다. 이 발전은 차세대 마스크에서 인쇄 가능한 결함을 더 정확하게 식별할 수 있도록 하여 EUV 마스크 검사 시장의 혜택을 직접 제공합니다.
• 2024년 4월, 애플라이드 머티어리얼즈는 고급 반도체 제조에서 임계 치수 제어, 패턴 충실도 및 결함 억제를 개선하기 위한 새로운 기술을 포함하는 패터닝 솔루션 포트폴리오를 확장했습니다. 이 포트폴리오는 에칭, 증착 및 계측 분야의 혁신을 포함하며 EUV 패터닝 균일성을 높이고 EUV 마스크 층 간 변동을 줄입니다. 이러한 개선은 차세대 노드 개발 중 더 정확한 결함 감지와 공정 안정성을 가능하게 하여 EUV 마스크 검사 워크플로우를 강화합니다.

EUV 마스크 검사 시장 조사 보고서는 2022년부터 2035년까지의 수익(USD 백만) 추정치와 함께 다음 세그먼트에 대한 산업 심층 분석을 포함합니다:

시장, 검사 기술별

• 액티닉 검사 시스템
  • 패터닝된 마스크 액티닉 검사
  • 블랭크 마스크 액티닉 검사
  • 액티닉 검토 및 계측 시스템 (AIMS)
• 비액티닉 검사 시스템
  • 고급 193nm DUV 기반 시스템
  • AI 강화 비액티닉 플랫폼

시장, 검사 단계별

• 마스크 블랭크 검사
  • 다층 스택 내 위상 결함 감지
  • 기판 및 표면 결함 검사
• 패턴 후 검사
  • 흡수층 패턴 결함 감지
  • 정렬 및 임계 치수 오류 검사
  • 오염 및 입자 검사
• 재자격 및 인라인 검사
  • 주기적 재자격 검사
  • 수리 후 검증
  • 사용 중 오염 모니터링

시장, 최종 사용자별

• 상업용 마스크 공장
  • 포토닉스
  • 토판 포토마스크
  • 대일본인쇄(DNP)
  • 기타
• 캡티브 마스크 생산업체
• 내부 검사 시스템을 갖춘 파운드리 및 IDM

위 정보는 다음 지역 및 국가에 제공됩니다:

• 북아메리카
  • 미국
  • 캐나다
• 유럽
  • 독일
  • 영국
  • 프랑스
  • 스페인
  • 이탈리아
  • 네덜란드
• 아시아 태평양
  • 중국
  • 인도
  • 일본
  • 호주
  • 한국

• 라틴아메리카
  • 브라질
  • 멕시코
  • 아르헨티나

• 중동 및 아프리카
  • 남아프리카공화국
  • 사우디아라비아
  • 아랍에미리트