半導体用 ICP-MSシステム市場 サイズとシェア 2026-2035

半導体 ICP-MS システム市場の規模

世界の半導体 ICP-MS システム市場は、2025年に 1億9,550万米ドルと評価された。最新の Global Market Insights Inc. のレポートによると、市場規模は 2026年の 2億330万米ドルから 2031年には 2億5,980万米ドル、2035年には 3億3,550万米ドルに拡大し、予測期間中の年平均成長率（CAGR）は 5.7% になると見込まれている。

市場の成長は、世界各国の政府によるインセンティブプログラムを背景とした半導体製造能力の拡大により促進され、半導体 ICP-MS システム業界の成長を後押ししている。主要な半導体製造プロセスでは、プロセスガス、ウェハー、超純水、プロセス用化学品に含まれる金属汚染物質を特定するため、ppt レベルでの精密な元素分析が必要とされる。例えば 2025年には、米国商務省が、米国内における半導体製造施設の建設および拡張を促進するため、CHIPSおよび科学法に基づく資金配分を継続している。^{[1]米国商務省、commerce.gov}

さらに、地域の半導体サプライチェーンと技術主権の強化に焦点を当てた各国の取り組みが、各地域で需要を引き続き下支えしている。多くの政府が半導体の国内生産と先端製造インフラを奨励・支援しており、品質管理（QC）ラボ向けの精密分析機器の需要を押し上げている。例えば 2025年には、欧州委員会が欧州チップ法を通じて、半導体およびチップの開発を進展させるため、欧州全域の研究、パイロット施設、製造に対する追加投資を行っている。これにより、シリコンウェハー、電子材料、半導体グレードの化学品に対する厳格な元素不純物分析の需要が生じ、半導体 ICP-MS の導入がさらに進んでいる。^{[2]欧州委員会、europe.eu}

さらに、製造施設における超純水および半導体グレードのプロセス用化学品について、より高純度の材料を求める需要が高まることで、ICP-MS の利用が促進される。国際的な半導体業界の先端プロセスに関する規格では、チップの歩留まり要件と部品の信頼性を満たすため、ウェハー製造施設で使用される材料および超純水に含まれる金属汚染物質を極めて低い水準に抑えることが求められる。半導体業界団体 SEMI が、ウェハー製造用途を促進するために超純水および半導体プロセス材料に関する先端製造規格の普及を進めていることから、2025年には超高感度 ICP-MS 機器への投資が拡大する見込みである。

半導体 ICP-MS システム市場は、最新の半導体製造施設への投資拡大、超微量元素汚染分析の需要増加、ならびに国内のチップ製造能力の開発に向けた政府の取り組みの加速を主因として、着実に拡大した。この成長軌道は、先端的な 5 nm、3 nm および次世代半導体技術の採用によって大きく後押しされた。

半導体 ICP-MS システム市場の動向

• 半導体の汚染管理において、ICP-MS のスマートワークフローに自動化 AI 技術を統合する動きが進んでいる。これにより、人の介入を削減して処理能力を高めるだけでなく、プロセスをリアルタイムで監視できる。この動きは、Semion メーカーがインダストリー4.0のスマートファクトリーの一環として、デジタル化と自動化の強化を推進し始めた 2022年頃に始まった。
• 国内製造への投資拡大と新たな製造施設計画により、世界の半導体分析機器市場の成長機会が拡大しています。米国、欧州、日本、韓国、インドなどの各国政府が半導体奨励策を実施したことで、2022年以降、この動きは加速しました。各国がサプライチェーンのレジリエンス強化に注力するなか、2035年までこの勢いは続くと予想されます。これにより、プロセス認定、材料特性評価、品質保証ラボにおける ICP-MS システムへの安定した需要が生まれる見込みです。
• 半導体向け超純水（UPW）や半導体グレードの超高純度化学品の普及が進むなか、汚染分析に ICP-MS を導入する企業が増えています。半導体大手が最新プロセス用化学品における金属不純物の許容水準を引き下げていることから、こうしたプロセスは 2021年頃から本格化しました。新たな製造施設への投資が一段と増加するなか、ICP-MS の利用は 2035年頃まで続く可能性が高いと考えられます。
• 炭化ケイ素（SiC）、窒化ガリウム（GaN）、化合物半導体などの先端半導体材料の利用が進むにつれて、超微量元素分析の必要性も高まっています。電気自動車（EV）、再生可能エネルギーシステム、高周波デバイスに対する高成長需要を背景に 2022年に始まったこの動向は、世界的なパワー半導体製造能力の継続的な拡大により、少なくとも 2035年まで続く見通しです。これらの動向により、材料認定ラボでは高感度 ICP-MS システムが恒常的に必要とされます。

半導体用 ICP-MS システム市場分析

製品タイプ別では、半導体用 ICP-MS システム市場は、単四重極 ICP-MS、三重四重極 ICP-MS（ICP-MS/MS）、セクター型・高分解能 ICP-MS（SF/HR-ICP-MS）、マルチコレクター ICP-MS（MC-ICP-MS）に分類されます。

• 単四重極 ICP-MS セグメントは、手頃な価格、高い試料分析処理能力、半導体化学品、超純水、シリコンウエハー、電子材料における日常的な超微量元素不純物分析への幅広い導入を背景に、2025年に 51.3% のシェアを占め、市場をリードしました。運用コストの低さに加え、10億分の1（ppb）および1兆分の1（ppt）レベルの測定を安定して実行できる信頼性により、半導体ラボで幅広い顧客基盤を獲得しています。
• 三重四重極 ICP-MS（ICP-MS/MS）セグメントは、予測期間中に 8.9% の年平均成長率（CAGR）で成長すると予測されます。3nm、2nm以下などの次世代技術に関する分析を目的として、半導体大手が三重四重極 ICP-MS の導入を拡大していることに加え、半導体プロセス用化学品において、より高い精度と検出限界、優れた干渉除去性能に対する需要が高まっていることが成長を後押ししています。

技術別では、半導体用 ICP-MS システム市場は、四重極技術、磁場セクター技術、その他に分類されます。

• 四重極技術セグメントは、通常の超微量元素分析における幅広い用途を背景に、2025年に市場をリードし、市場規模は 1億5,940万米ドルに達しました。高い分析処理能力、費用対効果、操作の簡便性により、半導体製造工場では、プロセス用化学品、電子材料、超純水、ウエハーにおける金属汚染の監視に広く利用されています。
• その他セグメントは、予測期間中に大幅な成長を遂げ、年平均成長率（CAGR）4.4%を記録すると予測される。TOF ICP-MS（飛行時間型誘導結合プラズマ質量分析）、ハイブリッドICP-MS（タンデムシステム）などのその他の技術に対する需要が高まっている。これらの先進技術は、元素分析の精度を高めるとともに、先端半導体技術における、より厳格な超微量元素モニタリングに活用できるためである。

最終用途別では、半導体ICP-MSシステム市場は、半導体ファウンドリ、統合デバイスメーカー（IDM）、半導体材料・化学品サプライヤー、独立試験・分析ラボ、研究・学術機関に分類される。

• 半導体ファウンドリセグメントは、2025年に市場をリードし、市場規模は 6,660 万米ドルに達した。半導体ファウンドリは、高性能半導体デバイスの大量生産を担い、超微量元素レベルの汚染を継続的に分析する必要があるため、半導体ICP-MSシステム業界を牽引している。半導体製造において 5 nm 以上のテクノロジーノードで良好な歩留まりを実現するため、半導体ファウンドリでは、超純水、製造用化学品、シリコンウエハー、クリーンルームなどに含まれる金属不純物の特定・検出にICP-MSシステムが幅広く使用されている。
• 半導体材料・化学品サプライヤーセグメントは、予測期間中に年平均成長率（CAGR）6.5%を記録する最も急速に成長するセグメントである。半導体メーカーが 3 nm、2 nm および将来の半導体テクノロジーノードを導入するなか、半導体製造における不純物に関する仕様が極めて厳格になっている。そのため、超高純度酸、溶剤、特殊ガス、フォトレジスト、CMPスラリーなどの需要が拡大し、最高水準の材料純度を確保するための品質管理・品質保証工程で使用される半導体ICP-MSシステムの需要を押し上げている。

北米の半導体ICP-MSシステム市場

北米は、2025年に半導体ICP-MSシステム業界で 26.5% のシェアを占めた。

• 北米の半導体ICP-MS市場は、半導体の国内生産に対する政府の強力な支援を背景に成長している。先進的な半導体製造工場への大規模投資に加え、元素汚染分析の需要が増加している。この点において、米国のCHIPSおよび科学法とカナダの半導体イノベーション向け資金供給が、メーカーによるファブの建設・アップグレードを促しており、品質管理、プロセス監視、汚染分析に使用されるICP-MS装置の需要を刺激している。
• 北米の半導体メーカーおよび試験ラボは、業界が将来の 2 nm、3 nm、先端パッケージング、化合物半導体ウエハーの需要に対応するため生産能力を拡大するなか、新たなICP-MS装置への投資を増やしている。同地域では、半導体デバイスの研究開発、高純度材料の供給、半導体デバイス向けプロセス薬品および超純水（UPW）に対するより厳格な品質管理が進展しているため、北米は今後さらに長期にわたり、場合によっては2035年以降も、分析機器の地域別市場として最大の地位を維持すると見込まれる。

米国の半導体ICP-MSシステム市場規模は、2024年の 4,680 万米ドルから拡大し、2025年には 4,830 万米ドルに達した。

• 米国における半導体 ICP-MS システム業界の成長は、「CHIPS and Science Act」に基づく「CHIPS for America Program」によって推進されている。「CHIPS for America Program」は、半導体製造の国内回帰および製造拠点の再移転、半導体技術の研究開発、サプライチェーンの強靭化を促進することを目的としている。半導体材料の生産拡大や製造施設の建設増加を背景に、半導体製造材料（半導体グレードの化学品、シリコンウエハー、超純水）の分析に必要な高精度かつ超微量元素分析用の半導体 ICP-MS システムの需要が高まっている。
• 例えば、CHIPS計量プログラムを含む NIST の半導体計量イニシアチブは、マイクロエレクトロニクス材料、デバイス、製造プロセス向けの新たな計測科学および標準規格を策定しており、汚染物質の検出、プロセス認定、品質保証を目的とした ICP-MS システムの普及をさらに促進すると見込まれる。これにより、北米地域の市場における米国のリーダーとしての地位が確保される。^{[3]米国国立標準技術研究所（NIST）、nist.gov 翻訳：}

欧州の半導体 ICP-MS システム市場

欧州市場は 2025 年に 4,220 万米ドルに達し、予測期間中に有望な成長を示すと見込まれる。

• 欧州半導体市場の成長は、主に European Chip Act によるものである。同法は、欧州域内の半導体製造環境の整備を支援し、欧州における製造量の拡大を促進している。新たなウエハーファブ、パイロット生産ライン、研究開発センターの設置に対する資金提供の増加により ICP-MS 装置の導入が進み、半導体材料中の元素追跡、純度監視、汚染管理に必要な高感度 ICP-MS 装置の需要が高まっている。
• さらに、欧州市場における半導体イノベーションの促進には、Chips Joint Undertaking（Chips JU）を通じた取り組みが大きく寄与している。Chips JU は、EU、各国政府、産業界から資金提供を受け、域内全体で先進パッケージング技術およびシリコン製造インフラに関する研究を強化している。これにより、半導体関連材料を追跡する高感度 ICP-MS システムの利用拡大につながっている。

ドイツの半導体 ICP-MS システム市場は欧州市場をリードしており、強い成長可能性を示している。

• ドイツでは、製造能力の拡大や先進半導体材料の研究が積極的に進められているため、プロセス汚染管理、半導体の特性評価、化学元素分析向け ICP-MS システムの市場が大きく成長している。
• 例えば、European Chips Act およびドイツのマイクロエレクトロニクス戦略を通じた政府による大規模な投資を背景に、ドイツの半導体産業に対する取り組みが強化されている。今年 5 月、ドイツ連邦経済・気候保護省は、European Chips Act と IPCEI ME/CT の一環として、ドレスデンにある Infineon の Smart Power Fab への融資を最終承認した。 ^{[4]ドイツ連邦政府、gtdai.de}

アジア太平洋地域の半導体 ICP-MS システム市場

アジア太平洋市場は、予測期間中に 6% の最も高い年平均成長率（CAGR）で成長すると見込まれる。

• アジア太平洋地域では、生産能力の大幅な拡大計画、国内半導体製造を促進する政府の強力なインセンティブ、超微量元素汚染分析の需要急増が相まって、同地域の半導体 ICP-MS システム業界の成長を推進している。台湾、韓国、日本、中国、インドを含む地域では、国内生産の強化を目指し、半導体製造能力の拡大に向けて積極的な資金投入が行われており、プロセス薬品分析、超純水試験、半導体材料の材料特性評価などの用途における ICP-MS の需要を押し上げている。
• さらに、インドなどにおける政府主導の半導体戦略（India Semiconductor Mission）に加え、日本による国内半導体エコシステム再興に向けた戦略的取り組みや、東アジア地域における最先端製造能力への継続的な投資が、製造施設および研究開発センターの設置を促進し、市場の需要にもさらなる影響を与えている。AI チップ、先端パッケージング技術、パワー半導体の製造が拡大したことで、半導体のバリューチェーン全体にわたる汚染を管理する高感度 ICP-MS システムの需要が高まっている。

インドの半導体 ICP-MS システム市場は、アジア太平洋市場において大幅な年平均成長率（CAGR）で成長すると推定される。

• インドの半導体 ICP-MS システム業界は、インド政府による India Semiconductor Mission（ISM）および Semicon India Programme の取り組みにより、成長が促進されると予想される。これらの取り組みは、同国における半導体製造施設、ATMP/OSAT 施設、半導体材料生産拠点の設置を奨励するものである。インドの半導体産業が成長し、同国が自立型の製造エコシステムの構築を推進するなか、シリコンウエハー、半導体用化学薬品、超純水、その他の電子材料など、半導体グレード材料に含まれる超微量元素の定量に使用される ICP-MS システムの需要は、勢いを増すと見込まれる。
• さらに、半導体分野における強固なサプライチェーンと高付加価値製造能力の構築というインドの目標を実現するため、半導体およびディスプレイ製造エコシステム開発修正プログラムに基づき、複数の半導体製造プロジェクトが承認されている。その結果、半導体ファブ、専門の第三者分析ラボ、半導体材料メーカーから ICP-MS システムへの高い需要が見込まれ、インドはアジア太平洋地域における非常に有望で急速に発展する市場となる見通しである。

中東・アフリカ半導体 ICP-MS システム市場

サウジアラビア市場は、中東・アフリカ地域で大幅な成長を遂げる見込みである。

• サウジアラビアでは、国内半導体産業の成長を促進し、National Semiconductor Hub（NSH）の設立を目指すサウジアラビア政府の取り組み「Vision 2030」により、半導体 ICP-MS システム業界が大きく成長している。National Semiconductor Hub（NSH）は、チップ設計、製造、研究、人材育成にまたがる包括的なバリューチェーンの構築を目指している。
• しかし、この取り組みに伴い、超微量元素分析、半導体グレード化学薬品の試験、汚染試験、半導体ラボおよびファブユニットにおける品質管理を実施するための ICP-MS システムの需要が高まる見込みである。

半導体 ICP-MS システム市場シェア

半導体 ICP-MS システム業界は、Agilent Technologies、Thermo Fisher Scientific、Revvity（PerkinElmer）、Shimadzu Corporation、HORIBA Scientific などの企業が主導している。これら 5 社は、2025 年に市場シェアの合計 76.2% を占めた。これらの企業は、さまざまな装置から成る幅広い ICP-MS ポートフォリオ、革新的な ICP-MS 装置向け技術およびソリューション、世界各地に広がるグローバルな販売・流通ネットワークを有している。また、半導体企業、研究機関、分析試験会社などと緊密な関係を構築している。

 さらに、元素分析により、先端半導体技術では汚染物質のレベルに関する厳格な規則が設けられているため、半導体生産に必要な厳格な品質保証・品質管理を活用することも可能になります。加えて、専用の半導体分析ソリューションへの資金投入の拡大、半導体ファブや研究センターとの戦略的提携の増加、2nm・3nmプロセス、先端パッケージングおよび化合物半導体向けの先端 ICP-MS 技術の継続的な開発により、これらの企業は今後も同セグメントの市場シェアを獲得し、世界の半導体企業向けの微量元素分析市場およびプロセス品質管理市場における地位を強化していくと見込まれます。

半導体 ICP-MS システム市場の企業

半導体 ICP-MS システム業界で事業を展開する主要企業は、以下のとおりです。

• Agilent Technologies
• Analytik Jena GmbH（Xylem Brand）
• Aurora Biomed
• EXPEC Technology（Focused Photonics Inc.）
• GBC Scientific Equipment
• HORIBA Scientific
• LabTech（Beijing Laibotaike Instrument Co.）
• Nu Instruments（AMETEK）
• Revvity Inc.（formerly PerkinElmer）
• Shimadzu Corporation
• Skyray Instruments
• SPECTRO Analytical Instruments（AMETEK）
• Thermo Fisher Scientific

• Agilent Technologies

Agilent Technologies は、超微量元素の測定および汚染の特定に対応する、高度な半導体向け ICP-MS システムを幅広く提供しています。これらのシステムは、半導体グレードの化学薬品および超純水を対象として、高速かつ高感度な多元素検出と、堅牢な干渉除去を可能にします。

• Thermo Fisher Scientific

Thermo Fisher Scientific は、半導体プロセスの開発および微量元素特性評価を支援する最先端の ICP-MS システムを開発しています。同社の分析機器は、高感度、高度なソフトウェア、自動化機能を統合し、研究室の生産性を最大化します。

• Revvity

元素分析企業である Revvity（PerkinElmer）は、半導体業界のメーカーが厳格な品質基準を満たすための最先端ソリューションを提供しています。研究者や品質保証担当者は、微量金属および半導体材料の分析に同社の ICP-MS 装置を日常的に活用しています。

• Shimadzu Corporation

先端 ICP-MS 装置を提供する日本企業の Shimadzu Corporation は、半導体の品質保証プロセス、高度な材料特性評価およびプロセス最適化を支援しています。Shimadzu のシステムは、極めて高い分析安定性、優れた感度、信頼性の高い運用を実現し、超微量元素特性の調査において最高水準の感度を達成します。分析技術の高度化に向けた継続的な投資により、同社は半導体研究施設向けのグローバルリーダーとしての地位を確立しています。

• HORIBA Scientific

HORIBA Scientific は、半導体製造、材料科学およびプロセスモニタリングに貢献する精密分析機器を提供しています。これらの機器は ICP-MS 技術を活用し、高性能半導体生産における不純物元素分析および品質管理の標準を確立しています。同社は、科学計測機器に関する深い知見と技術ソリューションの継続的な進歩を有しており、世界市場で競争優位性を発揮しています。

半導体 ICP-MS システム業界のニュース

• 2025年5月、Agilent Technologies は新たな質量分析装置およびソリューションを実証した。これらには、最新の InfinityLab Pro iQ Series と、ラボのワークフロー向けにさらに改良された高性能元素分析機能が含まれる。これらのソリューションにより、半導体サンプル中の汚染分析および超微量元素検出における Agilent のリーダーシップがさらに強化される。
• 2025年3月、Shimadzu Corporation は Pittcon 2025 のブース 2301 において、新たなトリプル四重極質量分析計 3 シリーズを発売する。これらの新システムは、イオン化効率を高める新しいイオン化技術、検出限界を改善する高度なノイズ低減機能、より高精度な測定を実現する感度向上機能に加え、性能をインテリジェントに最適化し、装置の状態を監視する新しいスマート機能を搭載している。これらの機能は、製造物質の組成分析、半導体デバイス製造および新材料の品質管理などの用途に適用される。
• 2025年3月、Thermo Fisher Scientific は、iCAP MSX および iCAP MTX トリプル四重極 ICP-MS の両バージョンを含む Thermo Scientific iCAP MX Series ICP-MS の導入を発表した。この技術は、微量元素分析を容易にすると同時に、ラボの生産性と感度を高め、干渉のない分析結果を実現するために導入された。このプラットフォームは、汚染物質の高感度分析と高スループットにより、半導体産業などの先端技術分野を支援できる。

半導体 ICP-MS システム市場調査レポートでは、以下のセグメントについて、2022年〜2035年の収益（百万米ドル）に関する推計および予測を含む業界の詳細な分析を提供している。

製品タイプ別市場

• シングル四重極 ICP-MS
• トリプル四重極 ICP-MS（ICP-MS/MS）
• セクターフィールド／高分解能 ICP-MS（SF/HR-ICP-MS）
• マルチコレクター ICP-MS（MC-ICP-MS）

技術別市場

• 四重極技術
• 磁場セクター技術
• その他

用途別市場

• ウェハーおよびシリコン材料分析
• 半導体グレード化学物質分析
• 超純水（UPW）分析
• プロセスガス分析
• CMP スラリーおよびナノ粒子分析
• クリーンルームおよびプロセス環境モニタリング
• 研究開発（R&D） 

エンドユーザー別市場

• 半導体ファウンドリー 
• 総合デバイスメーカー（IDM）
• 半導体材料および化学品サプライヤー
• 独立系試験・分析ラボ
• 研究・学術機関

上記の情報は、以下の地域および国を対象として提供される。

• 北米
  • 米国
  • カナダ
• 欧州
  • ドイツ
  • 英国
  • フランス
  • スペイン
  • イタリア
• アジア太平洋
  • 中国
  • インド
  • 日本
  • オーストラリア
  • 韓国

• ラテンアメリカ
  • ブラジル
  • メキシコ
  • アルゼンチン

• 中東・アフリカ
  • 南アフリカ
  • サウジアラビア
  • UAE