극자외선(EUV) 리소그래피 장비 시장 규모 - 기술 유형별, 장비 유형별, 기술 노드 적용별, 최종 사용자 유형별, 최종 사용 산업별, 성장 전망, 2025 - 2034

극자외선(Extreme Ultraviolet) 리소그래피 장비 시장 규모

2024년 글로벌 극자외선 리소그래피 장비 시장은 86.6억 달러 규모로, 40대 규모로 추정된다. 2025년 97.1억 달러에서 2030년 183.8억 달러, 2034년 339.1억 달러 규모로 성장할 전망이며, 142대 규모로 성장할 것으로 예상된다. 2025~2034년 예측 기간 동안 가치는 연평균 14.9%, 규모는 연평균 13.8% 성장할 것으로 전망된다.

• 극자외선 리소그래피 장비 시장은 반도체 산업이 최신 공정 노드로 전환하면서 현대 전자 제품의 복잡성이 증가함에 따라 지속적인 성장을 보이고 있다. 2024년 86.6억 달러 규모는 EUV 기술이 미래 반도체 제조 능력에 중요함을 보여준다.
  
• 2025년 97.1억 달러에서 2034년 339.1억 달러로 성장하는 것은 연평균 14.9% 성장률을 의미하며, 이는 리소그래피 시장 성장률을 크게 상회한다. 이는 EUV 시스템 배포가 급증하고 있는 결과로, 주요 파운드리들은 2030년까지 500대 이상의 EUV 시스템을 설치할 계획이다.
  
• 시장 규모 성장에는 EUV 채택의 단위 경제학이 영향을 미치며, 2억~4억 달러에 달하는 시스템 비용은 복잡하고 비용이 많이 드는 다중 패턴링 기술 대신 고급 노드를 제조할 수 있는 기술의 능력에 의해 상쇄된다. 총 주소 가능한 시장 규모는 EUV 스캐너 시스템을 넘어 광원, 광학, 마스크, 측정 및 지원 등 전체 가치 사슬을 포함한다.
  
• 지역별 시장 규모는 고급 반도체 제조 분포를 반영하며, TSMC와 삼성이 포함된 아시아 태평양 지역은 시장 가치의 56.2%를 차지한다. 북미의 25.2% 점유율은 인텔의 적극적인 EUV 도입과 주요 패블리스 기업들의 고급 노드 수요에서 비롯된다.
  
• 시장 평가 접근 방식에는 판매된 장비의 직접 가치와 서비스 계약, 소모품, 시스템 업그레이드 가치 등을 포함한 시장 시스템이 포함된다. EUV 시스템당 연간 서비스 수익은 1500만~2500만 달러로, 장비 공급업체의 재발생 수익과 결합하여 종합적인 시장 가치 평가에 중요하다.
  

극자외선 리소그래피 장비 시장 동향

• 시장 성장을 주도하는 주요 요인은 고급 노드 제조를 위해 193nm 이머전 리소그래피에서 EUV로의 산업 전환이다. 이 변화는 반도체 제조 공정을 복잡한 다중 패턴링 방법에서 EUV를 이용한 간단한 단일 노출 방법으로 근본적으로 변화시킬 것이다. 전환 일정은 EUV 레이어 수당 칩 수를 통해 가속화된 대량 채택을 보여주며, 7nm 노드에서 5~10개 레이어에서 3nm 노드에서는 15~20개 레이어로 증가했으며, 2nm 제조에서는 25개 이상의 레이어에 도달할 것으로 전망된다.
  
• 고수치적 개구(NA) 극자외선(EUV) 시스템 도입은 2nm 및 그 이하 노드에서 필요한 해상도를 달성하기 위한 리소그래피의 다음 진화 단계이다. 고-NA EUV 시스템은 0.33이 아닌 0.55의 수치적 개구를 가진 광학을 사용하며, 8nm의 최소 기능 크기를 달성한다.
  

극자외선 광학 장비 시장 분석

기술 유형별로 시장은 표준 EUV 시스템과 고NA EUV 시스템으로 나뉩니다.

• 표준 EUV 시스템은 여전히 193nm 침수 광학과 0.33의 수치적 개구로 작동하며, 7nm, 5nm 및 초기 3nm 공정 노드를 제조할 수 있습니다. 이는 산업이 오래된 방법에서 새로운 EUV(극자외선) 기술로 점진적으로 전환되고 있음을 보여줍니다.
  
• 이 표준 EUV 시스템은 약 13nm의 최소 기능 크기를 달성하며, 실제 생산에 충분히 빠르며, 시간당 약 170–200개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 표준 EUV 시스템에 대한 14.5%의 연평균 성장률은 기존 고급 노드에 대한 지속적인 배포와 메모리 응용 분야로의 확장을 반영합니다.
  
• 고NA EUV 시스템은 개발 중인 광학 시스템으로, 더 높은 수치적 개구(0.55 NA)를 가지고 있어 더 작은 기능 크기를 인쇄할 수 있으며, 2nm 및 2nm 미만 공정 노드에 필요한 약 8nm의 최소 기능 크기를 달성할 수 있습니다. 고NA 시스템에 대한 17.6%의 연평균 성장률은 2023-2024년에 인텔과 TSMC에서 달성된 기술의 R&D에서 초기 생산으로의 전환을 반영합니다.
  
• 고NA 시스템은 USD 370-400백만 달러로 매우 높은 비용이 들지만, 기존 시스템에서 매우 작은 기능을 만들기 위해 필요한 추가 단계인 이중 패턴이 필요하지 않아 장기적으로 비용과 복잡성을 절감합니다.

장비 유형별로 극자외선 광학 장비 시장은 EUV 스캐너, EUV 광학 시스템, EUV 광원, EUV 마스크 및 블랭크, EUV 측정 및 검사 장비, EUV 지원 시스템, EUV 소프트웨어 및 계산 시스템으로 세분화됩니다.

• 장비 유형 분류는 EUV 리소그래피 실행에 필요한 상세한 생태계를 강조하며, EUV 스캐너는 50.3%의 시장 점유율을 차지하고 있으며, 2034년까지 15.8%의 CAGR로 성장할 것으로 전망됩니다. 스캐너의 성능은 리소그래피 과정의 핵심이며, 매우 비싸며, 기능에 따라 USD 200–400 백만 달러의 비용이 듭니다.
  
• EUV 광학 시스템은 15%의 시장 점유율과 14.3%의 CAGR를 차지하며, 정밀한 거울, 수집기 및 광학 부품을 포함하여 EUV 시스템의 성능을 제공합니다. ZEISS는 ASML과 EUV 광학 공급에 대한 독점 계약이 있으며, 각 시스템은 10-11개의 정밀 거울이 필요하며, 제조업체에 대한 정확도 요구 사항이 피코미터 수준으로 매우 높습니다.
  
• EUV 광원 시스템은 14.2%의 시장 점유율과 15%의 CAGR를 차지하며, EUV 생태계에서 가장 기술적으로 도전적인 구성 요소 중 하나입니다. 현재 시스템은 강력한 CO2 레이저를 사용하여 작은 주석 방울을 타격하여 250–300 와트의 EUV 광을 생성합니다. 고 NA 스캐너 요구 사항을 충족하기 위해 광원 출력은 500+ 와트로 확장되어야 하며, 이는 주요 개발 분야입니다.
  

기술 노드 적용 기준, 극자외선 리소그래피 장비 시장은 7nm 논리 노드, 5nm 논리 노드, 3nm 논리 노드, 2nm 논리 노드, 2nm 미만 논리 노드, 고급 DRAM (10nm급 및 그 이하), 고급 NAND 플래시로 구분됩니다.

• 7nm 논리 노드 응용 분야는 29.1%의 시장 점유율과 14%의 CAGR로 선두를 달리고 있습니다. 이 세그먼트는 EUV 기술의 첫 번째 상업적 대규모 배포이며, EUV와 다중 패터닝의 경제성이 대량 생산에서 분기점을 달성했습니다.
  
• 5nm 논리 노드 응용 분야는 2024년 25.3%의 시장 점유율을 차지하며, 14.8%의 CAGR로 성장할 것으로 전망되어 선도적인 파운드리들의 현재 대량 생산 중심이 되고 있습니다. 5nm 노드에서는 EUV 기술이 10-15개의 핵심 레이어에 적용되며, 193nm 침수 대체품과 비교하여 공정 복잡성을 줄이고 동시에 고급 프로세서 및 모바일 SoC의 트랜지스터 밀도 및 성능 요구 사항을 충족시킵니다.
  
• 3nm 논리 노드 응용 분야는 20.7%의 시장 점유율과 15.5%의 CAGR를 차지하며, 생산 배포의 기술 최전선입니다. 3nm 노드는 EUV를 15-20개의 핵심 레이어에 사용하며, 현재 세대의 EUV 시스템의 모든 기능을 요구합니다. 예를 들어, 오버레이 정확도 향상 및 스토캐스틱 효과 감소 등이 있습니다. 주요 파운드리들은 EUV 기술을 통해 3nm 생산을 확대하고 있습니다.

북아메리카는 2024년 25.2%의 시장 점유율을 차지하며, 14.9%의 CAGR로 성장할 것으로 전망됩니다. 이는 Intel의 고급 노드 제조에 대한 EUV 적극적인 도입과 EUV 기반 제조 서비스가 필요한 주요 파운드리 기업들의 집중에 크게 영향을 받습니다. Intel은 고 NA EUV 기술에 대한 투자를 통해 기술 선두주자가 되며, 동시에 다음 세대 리소그래피 능력을 최초로 확보합니다.

• 미국의 극자외선 리소그래피 장비 시장은 2024년 USD 20억 달러 규모이며, 2025-2034년 전망 기간 동안 15%의 CAGR로 성장할 것으로 예상됩니다. 미국 정부 CHIPS 법에 따라 USD 825백만 달러가 EUV 가속 프로그램에 할당되어 국내 반도체 제조 능력을 지원하고, 해외 EUV 기반 제품 생산에 대한 의존도를 줄이는 데 도움을 줍니다. 이 정부 지원은 민간 부문이 EUV 기술과 국내 제조 능력에 적극적으로 투자하는 이유입니다.
  
• 제조업체는 CHIPS Act 보조금을 활용하고 미국 파운드리와의 협력을 통해 공급망을 현지화할 수 있습니다. 이는 기술의 신속한 배포를 보장할 뿐만 아니라 고성능 반도체 생산 분야의 경쟁력을 강화할 것입니다.
  
• 캐나다의 극자외선(Extreme Ultraviolet, EUV) 리소그래피 장비 시장은 2034년까지 연평균 성장률(CAGR) 13.8%로 성장할 것으로 예상됩니다. 캐나다의 EUV 리소그래피 장비 시장이 성장하는 이유는 반도체 R&D에 대한 정부의 지원 확대, 고급 제조업에 대한 투자 증가, 인공지능(AI), 항공우주, 통신 분야에서의 정밀 칩 수요 확대 때문입니다. 연구 기관과 글로벌 칩 제조업체 간의 협력은 기술 채택을 촉진하고 가속화할 것입니다.
  
• 제조업체는 캐나다 연구 센터와의 관계를 우선적으로 구축한 후 정부 인센티브를 활용해 현지 조립 또는 테스트 운영을 설정함으로써 시간을 더 효율적으로 사용할 수 있습니다. 이렇게 하면 공급망의 탄력성과 지역 기술 경쟁력에 기여할 수 있습니다.
  

유럽은 2024년 시장에서 15.6%의 점유율을 차지하며 연평균 성장률(CAGR) 13.3%를 기록하고 있습니다. 이 성장에는 IMEC 및 CEA-Leti와 같은 기관에서의 광범위한 연구 개발 활동과 EUV 기능을 요구하는 특수 반도체 제조업체의 기여가 있습니다. 유럽 연합의 여러 이니셔티브, 특히 Chips Joint Undertaking는 EUV 기술 개발과 배포를 위한 필수 자금을 제공하고 있습니다.

• 독일의 극자외선(EUV) 리소그래피 장비 시장은 2034년까지 연평균 성장률(CAGR) 14.6%로 성장할 것으로 예상됩니다. 독일의 EUV 리소그래피 장비 시장의 성장에는 반도체 R&D 투자, 자동차 분야의 전자 수요 증가, Industry 4.0에 영향을 받은 칩 혁신이 주요 동력으로 작용하고 있습니다. 정부 지원 프로그램과 연구 기관 및 칩 제조업체 간의 파트너십이 빠른 리소그래피 배포를 지원하며, 독일은 고급 반도체 제조 허브로의 위치를 강화하고 있습니다.
  
• 독일의 제조업체는 산업 및 자동차 분야의 플레이어와 협력하고 연방 지원 프로그램과 연계해야 합니다. 이러한 활동은 EUV 기술의 상업화를 가속화하고 강력한 파트너십을 구축하는 데 도움이 될 것입니다.
  
• 영국의 극자외선(EUV) 리소그래피 장비 시장은 2034년까지 12.7억 달러 이상을 기록할 것으로 예상됩니다. 영국 EUV 리소그래피 장비 시장의 성공 요인 중 하나는 반도체 설계, 양자 컴퓨팅, 나노기술 연구에 대한 투자 확대입니다. 정부 이니셔티브인 국가 반도체 전략 및 학계와의 협력은 혁신에 기여하며, EUV는 고가치 기술 응용 및 정밀 칩 제조에 점점 더 인기를 얻고 있습니다.
  
• 제조업체는 영국 연구 기관과 긴밀히 협력하고 혁신 보조금을 최대한 활용하며 EUV 기반 반도체 공정 개발에 참여해야 합니다. 이를 통해 현지 기술 역량을 강화하고 국가의 신흥 칩 생태계에서 우위를 점할 수 있을 것입니다.
  

아시아 태평양 지역은 56.2%의 시장 점유율과 15.5%의 연평균 성장률(CAGR)을 기록하며 시장 주도권을 확보했습니다. 이는 세계 최고의 반도체 제조업체의 집중과 고급 노드 기술에 대한 적극적인 투자가 주요 원인입니다. 이 지역에는 TSMC, 삼성, SK하이닉스 등이 있으며, 이들은 EUV 기술의 주요 고객으로, 주요 파운드리와 메모리 제조업체를 대표하고 있습니다.

• 2024년 중국 극자외선(Extreme Ultraviolet, EUV) 리소그래피 장비 시장은 18.6억 달러 규모로, 아시아 태평양(APAC) 전체 시장 점유율의 38.1%를 차지했습니다. 중국은 EUV 기술 접근에 대한 수출 통제 조치로 인해 아시아 태평양 시장 점유율이 제한적입니다. 이는 다른 시장들에게 기회를 제공하며, 일본, 싱가포르, 동남아시아 신흥 시장 등이 이러한 제한의 수혜를 받고 있습니다. 예를 들어, 소니와 르네사스는 특수 반도체 응용 분야에서 EUV 채택을 확대하고 있습니다.
  
• 제조업체는 전략적 합작 투자 가능성을 탐구하고, 정부 인센티브를 최대한 활용하며, 현지 기술 적응에 집중해야 합니다. 이를 통해 규제 장벽을 극복하고 중국의 대규모 반도체 제조 생태계를 효율적으로 활용할 수 있습니다.
  
• 한국 극자외선(EUV) 리소그래피 장비 시장은 전망 기간 동안 연평균 성장률(CAGR) 14.7%로 성장할 것으로 예상됩니다. 한국은 삼성 등 파운드리 운영과 삼성의 메모리 제조로 인해 아시아 태평양 지역에서 두 번째로 중요한 시장입니다. 삼성은 논리 및 DRAM 응용 분야에서 EUV 기술에 대한 최대 투자를 진행하고 있습니다. 삼성과 ASML의 협력은 여러 제품 라인에 걸친 EUV 기술 연구 및 구현을 위해 7억 6천만 달러를 투자하고 있습니다.
  
• 2024년까지 인도 극자외선(EUV) 리소그래피 장비 시장은 52.3억 달러를 넘어설 것으로 예상됩니다. 인도의 EUV 리소그래피 도구 시장은 "인도 반도체 미션"과 같은 정부 지원 반도체 프로그램으로 추진되고 있으며, 이는 국내 칩 제조 용량을 개발하는 것을 목표로 합니다. 전자 제조, 디지털화, 외국 반도체 기업에 대한 인센티브 등도 EUV 기술 채택에 기여하고 있으며, 이는 빠르게 증가하는 고급 노드 칩 생산 수요를 충족하기 위해 필수적입니다.
  
• 제조업체는 인도 파운드리와 협력하고 정부 인센티브에 맞춰 초기 EUV 기반을 구축해야 합니다. 이는 현지 칩 생산에 유리하며, 국가의 장기적인 반도체 자립 목표와 일치할 것입니다.
  

라틴 아메리카 극자외선 리소그래피 장비 시장은 2034년까지 2억 5770만 달러를 넘어설 것으로 예상됩니다. 고성능 컴퓨팅 및 자동차 전자 제품에 대한 수요 증가가 지역 내 차세대 리소그래피 시스템에 대한 투자 주력 요인이 되고 있으며, 이는 칩 미니어처화 및 생산 효율성 향상에 기여하고 있습니다.

중동 및 아프리카(Middle East and Africa, MEA) 극자외선(EUV) 리소그래피 장비 시장은 2034년까지 5억 5280만 달러를 넘어설 것으로 예상됩니다. MEA EUV 리소그래피 장비 시장 성장의 주요 원인은 UAE와 이스라엘에서 성장하는 반도체 조립 허브와 전자, 항공우주, 국방 분야에 대한 투자 증가가 있습니다.

• 2024년 남아프리카 극자외선(EUV) 리소그래피 장비 시장은 3190만 달러 규모로 평가되었습니다. 남아프리카의 EUV 리소그래피 장비 시장은 연구 개발(R&D) 기반 혁신 센터와 마이크로전자 제품 제조에 대한 관심 증가로 성장하고 있습니다. 정부는 디지털 산업화와 반도체 기술 역량 개발에 집중하고 있으며, 이는 세계 반도체 장비 제조사와의 협력을 촉진하고 있습니다. 목표는 현지 제조 기회를 강화하고 수입 반도체 기술에 대한 의존도를 줄이는 것입니다.
  
• 제조업체는 협력 교육 프로그램과 기술 이전 이니셔티브에 집중해야 합니다. 이를 통해 남아프리카의 신흥 반도체 생태계와 현지 R&D 기반 칩 생산 노력에서 초기 우위를 확보할 수 있습니다.
  
• 사우디아라비아의 극자외선(Extreme Ultraviolet, EUV) 리소그래피 장비 시장은 전망 기간 동안 연평균 성장률(CAGR) 13.3%로 성장할 것으로 예상됩니다. 사우디아라비아의 비전 2030 이니셔티브는 반도체 제조에 대한 투자를 가속화하고 있으며, 이는 디지털 전환 목표의 일부입니다. 정부는 스마트 인프라, 방위 전자, 재생 에너지 기술에 중점을 두고 있어, 현지 생산 및 기술 주권 강화를 위해 고급 칩 생산 장비인 EUV 리소그래피 시스템 수요를 촉진하고 있습니다.
  
• 제조업체는 국가 지원 혁신 프로그램과 산업 클러스터와 협력하여 EUV 배치를 사우디아라비아의 반도체 자립과 고기술 산업 다양화 전략 목표와 일치시켜야 합니다.
  
• 아랍에미리트(Arab Emirates, UAE)의 극자외선(Extreme Ultraviolet, EUV) 리소그래피 장비 시장은 2034년까지 1억 6700만 달러를 초과할 것으로 예상됩니다. UAE는 AI, 스마트 시티, 방위 기술에 대한 대규모 투자를 통해 반도체 혁신의 허브로 빠르게 성장하고 있습니다. 국제 반도체 기업과의 전략적 제휴와 호의적인 규제 환경은 현지 칩 설계, 테스트, 고급 패키징을 지원하기 위해 EUV 리소그래피 채택을 촉진하고 있습니다.
  

극자외선(Extreme Ultraviolet, EUV) 리소그래피 장비 시장 점유율

• 상위 5개 기업의 점유율 합계 87.61%에는 ASML의 스캐너 시스템과 EUV 생태계의 핵심 부품 공급업체가 포함됩니다. ZEISS는 EUV 광학 시스템에 대해 ASML과 독점적 관계를 유지하며, 시스템 성능을 정의하는 정밀 거울과 광학 조립체를 제공합니다. 각 EUV 시스템은 피코미터 단위로 제조된 정밀 거울 10~11개를 필요로 하며, 이는 ZEISS 연구에 따르면 스캐너당 다중 백만 달러 규모의 광학 시스템 가치를 나타냅니다.
  
• EUV 리소그래피 장비 시장은 경쟁 구도 측면에서 유럽 연합(EU) 시장이 매우 집중되어 있습니다. ASML Holding N.V.는 광학 장비 시장의 72.5%와 상업용 EUV 스캐너 시스템 시장의 거의 100%를 점유하고 있습니다. ASML이 시장 선두에 서 있는 이유는 20년 이상 EUV 기술 개발에 집중한 투자 때문이며, 이는 주요 반도체 제조업체, 정부 지원 연구 기관, 부품 공급업체와의 협력을 포함했습니다.
  
• Coherent Corporation은 Coherent 레이저 시스템과 부품의 인수를 통해 극자외선(Extreme Ultraviolet, EUV) 광원 기술의 선두주자가 되었습니다. 회사의 고출력 CO2 레이저는 레이저 생성 플라즈마(LPP) EUV 광원의 주요 구성 요소이며, 각 시스템은 킬로와트 수준에서 작동하는 여러 레이저 모듈을 필요로 합니다. Coherent Corporation에 따르면, 회사의 시장 위치는 고NA EUV 시스템에 필요한 다음 세대 레이저 기술의 지속적인 개발로 강화되고 있습니다.
  
• Trumpf SE + Co. KG는 EUV 광원 개발업체와의 협력과 산업 레이저 전문성을 바탕으로 EUV 광원에 필요한 레이저 기술을 추가로 개발할 수 있는 입지에 있습니다. 회사의 레이저 시스템의 최대 출력은 EUV 광원 아키텍처의 결정적 구성 요소로 작용했습니다. Trumpf의 연구 결과에 따르면, 회사는 고량 생산을 위한 출력 확장 및 신뢰성 개선을 위한 지속적인 개발을 진행하고 있습니다.
  
• KLA Corporation은 EUV 측정 및 검사 장비 분야의 선두주자로, EUV 공정 제어 및 수율 최적화를 위한 전문 측정 시스템을 제공합니다. KLA의 액티닉 검사 시스템은 EUV 파장에서 작동하여 서브 나노미터 정확도로 결함을 감지하고 치수 측정할 수 있어, 초정밀 기능으로 인해 매우 높은 가격을 책정할 수 있습니다.
  

극자외선(Extreme Ultraviolet, EUV) 리소그래피 장비 시장 기업

극자외선(EUV) 리소그래피 장비 시장에서 주요 기업은 다음과 같습니다:

• ASML Holding N.V.
• Coherent Corporation
• Trumpf SE + Co. KG
• Jenoptik AG
• KLA Corporation
• Applied Materials, Inc.
• Lam Research Corporation
• Nikon Corporation
• Canon Inc.
• Gigaphoton Inc.
• NuFlare Technology, Inc.
• Lasertec Corporation
• Veeco Instruments Inc.
• SUSS MicroTec SE
• EV Group E. Thallner GmbH
• SET Corporation
• Oxford Instruments plc
• Plasma-Therm LLC
• Oxford Instruments plc
• Plasma-Therm LLC
  
  

극자외선 리소그래피 장비 시장의 주요 기업들은 시스템 통합을 넘어 핵심 부품, 소재 및 지원 서비스를 포함하는 완전한 생태계를 구성하고 있습니다. 시장 구조는 EUV 기술의 극도로 전문화된 특성과 기능적인 리소그래피 시스템을 제공하기 위해 필요한 긴 공급망을 반영합니다.

ASML Holding N.V.는 EUV 스캐너 시스템 분야에서 독보적인 리더로, TWINSCAN NXE 시리즈는 현재 생산 EUV 시스템의 최신 세대를 대표하며, TWINSCAN EXE:5000 High-NA 시스템은 다음 기술의 경계를 정의합니다. Coherent Corporation은 고출력 레이저 시스템 및 부품을 통해 EUV 광원 기술 분야에서 핵심적인 위치를 유지하고 있습니다. 이 회사의 산업용 레이저 전문성은 레이저 생성 플라즈마(LPP) EUV 광원을 위한 킬로와트급 CO2 레이저를 가능하게 합니다.

Jenoptik AG는 EUV 생태계에 필수적인 정밀 광학 부품 및 시스템을 제공합니다. 이는 특수 광학 및 측정 장비를 포함합니다. 이 회사의 정밀 제조 및 광학 시스템 기술은 EUV 스캐너 개발뿐만 아니라 팹 레벨에서 측정 요구 사항을 지원합니다.

EUV 리소그래피 시스템을 보완하기 위해, Applied Materials, Inc.는 원활하게 통합 가능한 공정 장비 및 소재 솔루션을 제공합니다. 이 회사의 전략적 움직임은 EUV 호환성 침착 및 에칭 공정의 창출, EUV 응용을 위한 고급 소재의 사용, 그리고 EUV 성능을 극대화하는 통합 공정 솔루션의 개발을 포함합니다.

Veeco Instruments Inc., SUSS MicroTec SE, EV Group E. Thallner GmbH, SET Corporation, Oxford Instruments plc, Plasma-Therm LLC는 EUV 팹 구현 및 운영을 지원하기 위해 특수 공정 장비, 소재 처리 시스템 및 기타 보완 기술로 기여하고 있습니다.

극자외선 리소그래피 장비 산업 뉴스

• 2024년 10월, Coherent Corporation은 다음 세대 EUV 광원을 위한 50kW CO2 레이저 시스템 개발을 발표했습니다. 이는 현재 시스템 대비 2배의 출력 증가를 의미하며, Coherent Corporation에 따르면 고 NA EUV 제조에 필요한 광원 출력 확장 기능을 가능하게 합니다.
  
• 2024년 3월, Lasertec은 ACTIS A300이라는 신세대 액티닉 극자외선(EUV) 마스크 검사 시스템을 출시했습니다. 이 시스템은 EUV 리소그래피와 동일한 13.5nm 파장의 빛을 사용하여 결함을 감지하기 때문에 고급 반도체 제조에 필수적인 구성 요소입니다.
  

극자외선 리소그래피 장비 시장 조사 보고서는 2021년부터 2034년까지의 수익(USD 십억) 및 수량(단위) 기준의 추정치 및 예측치를 포함하여 산업을 심층적으로 분석합니다.

기술 유형별 시장

• 표준 EUV 시스템(NA 0.33)
  • NXE:3400C 시스템
  • NXE:3600D 시스템
  • NXE:3800E 시스템 
• 고 NA EUV 시스템(NA 0.55)  
  • EXE:5000 시스템
  • EXE:5200B 시스템
  • 다음 세대 고 NA 시스템

장비 유형별 시장

• EUV 스캐너       
• EUV 광학 시스템        
  • 조명 시스템
  • 투사 광학 시스템
  • 거울 시스템 및 다층 코팅 
• EUV 광원
  • CO2 레이저 시스템
  • 플라즈마 발생 장비
  • 전력 조절 시스템
• EUV 마스크 및 블랭크        
  • 마스크 기판 블랭크
  • 펠리클 시스템
  • 마스크 제조 장비
• EUV 측정 및 검사 장비 
  • 결함 검사 시스템
  • 오버레이 측정 시스템
  • 임계 차원 측정 시스템
• EUV 지원 시스템       
  • 진공 시스템
  • 배출 장비
  • 환경 제어 시스템
• EUV 소프트웨어 및 계산 시스템
  • 계산 리소그래피 소프트웨어
  • 공정 제어 소프트웨어
  • 마스크 설계 소프트웨어

시장, 기술 노드 적용별  

• 7nm 논리 노드   
• 5nm 논리 노드   
• 3nm 논리 노드   
• 2nm 논리 노드   
• 2nm 미만 논리 노드      
• 고급 DRAM (10nm급 및 그 이하)  
• 고급 NAND 플래시     

시장, 최종 사용 유형별     

• 순수 파운드리         
• 통합 장치 제조사(IDM)
• 메모리 제조사  

시장, 최종 사용 산업별

• 모바일 및 소비자 전자제품  
• 자동차 반도체       
• 인공지능 및 머신러닝          
• 데이터 센터 및 고성능 컴퓨팅     
• 5G 및 통신 인프라           
• 산업 및 IoT 응용       
• 항공우주 및 국방                  

다음 지역 및 국가에 대한 정보는 다음과 같습니다:

• 북아메리카
  • 미국
  • 캐나다
• 유럽
  • 영국
  • 독일
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