Рынок фоторезистивных химикатов для современной литографии — по типу, по технологии литографии, по конечному использованию — глобальный прогноз на 2025–2034 гг.

Размер рынка химических фотополимеров для продвинутой литографии

Глобальный рынок химических фотополимеров для продвинутой литографии оценивался в 5,5 млрд долларов США в 2024 году. Ожидается, что рынок вырастет с 6,1 млрд долларов США в 2025 году до 15,6 млрд долларов США в 2034 году, с темпом роста 11% в год, согласно последнему отчету, опубликованному компанией Global Market Insights Inc. Ключевыми драйверами роста являются увеличение инвестиций в Азиатско-Тихоокеанском регионе, коммерциализация High-NA EUV и прогресс в технологиях 3D-пакетирования.
 

Глобальный рынок химических фотополимеров для продвинутой литографии вступает в трансформационную фазу из-за более быстрого внедрения узлов процессов менее 7 нм и менее 5 нм, принятия использования EUV и роста спроса на продвинутые рынки (например, процессоры ИИ, чипсеты 5G и полупроводники для автомобилей).
 

Ключевым драйвером роста стало коммерческое внедрение литографии EUV (экстремального ультрафиолета) с длиной волны 13,5 нм, что позволяет создавать узоры с шириной линии менее 5 нм. Рынок химически усиленных резистов (CARs) и металлооксидных EUV-фотополимеров значительно вырос. Только в 2024 году поставки EUV составили более 25% доли рынка от общей выручки всех продвинутых фотополимеров, что, как ожидается, увеличится до более чем 45% доли рынка к 2034 году благодаря внедрению High-NA EUV ведущими фабриками, такими как TSMC, Intel и Samsung.
 

Секторы памяти и логических микросхем являются крупнейшими вертикалями конечного использования, составляя примерно 60% доли рынка химических фотополимеров для продвинутой литографии в 2024 году. Растущая потребность в DRAM с большей емкостью и 3D NAND с ультратонкими размерами элементов привела к использованию новых материалов для резистов, особенно для платформ 193nm ArFi immersion и следующего поколения EUV. Поставщики продолжают инвестировать значительные средства в НИОКР для улучшения контроля шероховатости линии (LER) и компромисса чувствительность-разрешение в EUV-фотополимерах.
 

В то же время сегмент Advanced Packaging, который включает упаковку на уровне кристалла (WLP), 3D-пакетирование и систему в пакете (SiP), развивается в сильного участника роста. Ожидается, что сегмент будет расти с темпом 13,5% в год до 2034 года, в значительной степени благодаря толстым негативным фотополимерам на основе эпоксидных смол, таким как SU-8, которые являются необходимыми для распределительных слоев (RDL) и TSV. Рынок химических фотополимеров для продвинутой литографии в Северной Америке имел долю 18% в 2024 году и снова увеличивает свою долю сегмента за счет новых добавлений мощностей, которые в основном обусловлены CHIPS Act и инвестициями Intel в EUV-оборудование.
 

В частности, переход на High-NA EUV, гибридную литографию (DUV + EUV) и методы самосборки (DSA) меняют ландшафт химии резистов. Ключевые игроки в этой области, такие как JSR, TOK, Dongjin Semichem и Fujifilm, скорректировали свои дорожные карты продуктов в соответствии с коммерческой готовностью 2нм и 1,4нм, что представляет собой определенный сдвиг от традиционных KrF/i-line резистов к новым платформам, специфичным для EUV.
 

Ландшафт НИОКР остается бурным, с множеством партнерств среди консорциумов полупроводников, университетов и поставщиков резистов, работающих синхронно для совместного разработки металлоорганических или неорганических резистов с высокой чувствительностью. Другие организации, такие как Interuniversity Microelectronics Centre (IMEC) и MIT, запустили консорциумы для резистов следующего поколения, которые решают текущие стохастические и LWR-ограничения, наблюдаемые на платформах EUV, в то время как другие сделают химию аспектом резистов следующего поколения.
 

Тенденции рынка химических фотополимеров для продвинутой литографии

• Литография High-NA EUV (0.55 NA), представляющая собой фундаментальное улучшение по сравнению с нынешними возможностями EUV на 13,5 нм, вероятно, является самым значительным трендом на рынке передовых фоторезистов. Ведущие производители, включая ASML, Intel и imec, продвигают High-NA EUV для достижения узлов 2 нм и ниже 2 нм. Это развитие требует химии резистов, обеспечивающей сверхвысокую разрешающую способность (EUV-процесс), минимизацию стохастических эффектов (экспозиция и обработка) и снижение шероховатости линии/ширины (LER/LWR).
   
• Следовательно, потребуется совершенно новый класс EUV-фоторезистов, в частности неорганических металлооксидных и гибридных органических-неорганических резистов. Ожидается, что инструменты High-NA EUV будут готовы к пилотному производству к 2025 году, что побудит поставщиков, таких как JSR, Fujifilm и Shin-Etsu, проверять производительность резистов в условиях обработки с более высокими соотношениями сторон и новыми «сочными» условиями.
   
• Существует повышенная неудовлетворенная потребность в фоторезистах, разработанных специально для применения в новых категориях устройств, таких как 3D NAND, систем на кристалле (SoC), MEMS, CMOS-изображения и силовые устройства. Традиционные резисты, оптимизированные для массового производства логики/памяти, могут не обеспечивать приемлемой производительности в нестандартных размерах или высоких соотношениях сторон.
   
• Ключевая область включает 3D-упаковку и упаковку на уровне пластины с фан-аутом (FOWLP), которая требует толстых негативных тоновых или эпоксидных фоторезистов, способных к многоаспектным конструкциям и глубоким элементам. Это будет стимулировать исследования и разработки в области многослойных резистовых стопок, растворительных формул или оптимизации течения резиста и новых способов изучения возможностей добавления стоимости для резистов за пределами передовых логических решений. 
   
• Набирает обороты тренд на все более глубокое сотрудничество между поставщиками фоторезистов и полупроводниковыми фабриками. Например, ведущие производители полупроводников, такие как Intel, Samsung или TSMC, работают с поставщиками резистов для совместной разработки химии EUV и High-NA резистов.
   
• Эти партнерства могут принимать множество форм, таких как использование общих пилотных фабрик, тестовых сред в линию и обязательства по поставкам на основе показателей производительности и стоимости. Для небольших фабрик вертикальная интеграция в сочетании с надежными совместными предприятиями может получить доступ к резистам следующего поколения и избежать внутренних препятствий в области НИОКР. Это в конечном итоге помогает закрыть цикл в отношении литографического оборудования, материаловедения и внедрения на фабрике.
   

Анализ рынка химических фоторезистов для передовых литографий

Подробнее о ключевых сегментах, формирующих этот рынок

Скачать бесплатный PDF-файл

По продукту рынок разделен на положительные фоторезисты и отрицательные фоторезисты. Сегмент положительных фоторезистов в 2024 году принес выручку в размере 3,4 млрд долл. США, и ожидается, что к 2034 году он достигнет 9,5 млрд долл. США с темпом роста 10,7% в прогнозируемый период.
 

• Глобальный рынок химических фоторезистов по-прежнему в основном представлен положительными фоторезистами, что можно объяснить более чем 62,5% доли рынка в 2024 году. Основное преимущество, способствующее продолжающейся популярности положительных фоторезистов, — это превосходная разрешающая способность, широта процесса и совместимость с передовыми литографическими процессами, такими как 193нм ArF-иммерсия и системы экстремального ультрафиолета (EUV).
   
• Подсектор положительного тона на рынке фоторезистов доминирует химически усиленные резисты (CARs).CARs обеспечивают высокую чувствительность и устойчивость для геометрий менее 10 нм, так как они считаются критически важными для достижения высокой точности процесса. Крупные игроки, такие как JSR, TOK и Fujifilm, активно расширяют свои предложения, предлагая материалы CAR с низкой шероховатостью краев (LER) для обеспечения высокого контроля наложения и точности узора в областях применения, таких как логика и память.
   
• Сейчас основное внимание в инновациях позитивных фоторезистов уделяется улучшению стойкости к травлению, разработке модульных вариантов платформы фоторезистов и снижению размытости вторичных электронов в процессах EUV-литографии, что является одним из ключевых факторов, способствующих выходу продукции при малых размерах.
   
• Новые претенденты на рынок производства с геометрией менее 5 нм включают CAMS или позитивные резисты с добавлением металлооксидов, которые, вероятно, будут использоваться в качестве альтернативы в будущих процессах из-за повышенного поглощения EUV и лучшей термостойкости.
   
• С экономической точки зрения, позитивные фоторезисты предлагают лучшее соотношение цены и производительности по сравнению с негативными фоторезистами в их применении в полном объеме производства. Использование позитивных фоторезистов в высокоинтенсивных производственных процессах на микросхемах и полупроводниках (охватывающих области применения от 65 нм до узлов 3 нм) более устойчиво, чем негативных фоторезистов.
   

Подробнее о ключевых сегментах, формирующих этот рынок

Скачать бесплатный PDF-файл

По конечному использованию рынок химических фоторезистов для передовых литографий разделен на производство полупроводниковых устройств, MEMS-устройств, электронных дисплеев, передовых упаковочных приложений и производство фотомасок. В 2024 году сегмент производства полупроводниковых устройств занял наибольшую долю рынка в 69,5%.
 

• Спрос на высокочистые, высокопроизводительные четыре фоторезистовых материала, используемых в передовых литографических процессах для логических, память, аналоговых и чипов, ориентированных на ИИ, является причиной доминирующей доли этого сегмента. Из-за увеличения сложности многократных шагов паттернирования и внедрения High-NA EUV логические устройства, в частности ЦП, ГП и SoC, производимые на узлах 5 нм, 3 нм и вскоре 2 нм, потребляют наибольшее количество фоторезистов.
   
• Также устройства памяти, особенно DRAM и 3D NAND, стимулируют значительный рост как сегмент полупроводниковых устройств. 3D-вертикальное наращивание в флеш-NAND требует толстых фоторезистов с высоким соотношением сторон, что требует применения передовых процессов с индивидуальными фоторезистовыми материалами. Устройства DRAM используют точные тонкие фоторезисты для контактных отверстий и линейно-пространственных характеристик.
   
• Наконец, сегменты полупроводников, такие как процессоры ИИ, нейроморфные чипы и RFIC для 5G, еще больше увеличивают спрос на индивидуальные фоторезисты, активно продвигая разрешение и совместимость материалов за пределы традиционных литографических процессов.
   

Ищете региональные данные?

Скачать бесплатный PDF-файл

• Рынок химических фоторезистов для передовых литографий в США в 2024 году принес выручку в размере 817,4 млн долларов США. Рынок США, как ожидается, будет расти на 10,8% в год, достигнув 2,3 млрд долларов к 2034 году.Вот переведенный HTML-контент: The photoresist market in North America is changing due to semiconductor revitalization policies backed by legislation in the United States, particularly the CHIPS and Science Act, which is stimulating domestic chip manufacturing. This legislation impacts the demand for domestically sourced photoresist and advanced lithography materials, in part due to new fabs being expanded or built in the U.S. by customers like Intel, GlobalFoundries, and Micron.
   
• Several startups located in the United States and materials science companies are using government R&D grants to develop next-generation EUV (extreme ultraviolet) and High-NA (numerical aperture) compatible resists in an effort to fulfill the national goal of supply chain resilience. Additionally, increased funding in electronics that are defense-enabled or for chips designed for AI technology, as well as silicon photonics, is requiring very specialized patterning solutions, thereby enhancing photoresist consumption into both "leading edge" and "legacy" nodes.
   
• While the North America region still imports a high percentage of its resist chemical from Japan and Korea, there is increasing emphasis on IP development domestically and partnerships for regional production.
   
• Europe photoresist chemicals for advanced lithography market generated a revenue of USD 550 million in 2024. Europe market is projected to grow at a CAGR of 11% reaching USD 1.6 billion by 2034. The photoresist market in Europe is strongly affected by the regional push for technological sovereignty, especially with the European Chips Act, which directs more than USD 43 billion to the support and development of the European semiconductor manufacturing ecosystem. The region does not seem to have any domestic giants in terms of resist, but companies like Merck Group and Allresist GmbH in Europe are becoming more important through strategic engagements with equipment manufacturers and research institutes.
   
• An important trend is the integration of photoresist innovation with the development of photomasks and lithography equipment, as exemplified by strategic partnerships with ASML in the Netherlands and IMEC in Belgium. The region is also emphasizing eco-compliant resist formulations, due in part to strict EU environmental regulations (REACH), and consequently is developing a reputation as a hotbed of green resists and low-VOC technologies. The push for autos, IoT, and industrial electronics continues to drive regional demand, particularly by Germany, France, and the Nordic countries.
   
• Asia Pacific photoresist chemicals for advanced lithography market generated a revenue of USD 3.7 billion in 2024. Asia Pacific leads the global market for photoresists chemicals with more than 67% of global market share for 2024, driven by high volume manufacturing in Taiwan, South Korea, Japan and increasingly China.
   
• China has made significant investments in self-sufficiency for photoresist in the context of "Made in China 2025" with over 50 native companies incorporated into the local resist supply chain since 2020. South Korea is pivoting to advanced packaging lithography driven by 3D NAND and SiP road mapping from Samsung and SK Hynix. Finally, R&D consortia across APAC are advancing new resist chemistries for High-NA and NIL solutions.
   
• Latin America photoresist chemicals for advanced lithography market is still an early market for photoresist chemicals, but there is slow uptake occurring via regional integration into the global semiconductor value chain. Brazil and Mexico are establishing themselves as advanced packaging and testing centers, due to lower labor costs and proximity to North America.
   
• Национальная стратегия IoT Бразилии и участие Мексики в инициативах по релокации производства полупроводников в США начали поддерживать инвестиции в материалы для литографии, включая фотополимеры. При государственном интересе к созданию центров образования и НИОКР в области полупроводников могут появиться долгосрочные возможности для ценных навыков в области применения и тестирования полимеров. Однако отсутствие отечественных производственных мощностей для дополнительных НИОКР по полимерам является препятствием для краткосрочного роста.
   
• Регион Ближнего Востока и Африки является развивающимся рынком для инноваций, связанных с полупроводниками, хотя пока он сосредоточен на проектировании, ускорении работы чипов ИИ и коммерческих исследовательских сотрудничествах, а не на производстве материалов.
   
• В Израиле экосистема развивается через партнерские модели, ориентированные на НИОКР между местными стартапами, лицензиатами ARM и глобальными игроками в области интегральных схем, что приводит к узкоспециализированному спросу на передовые материалы для литографии, которые должны производиться для экосистемы. В ОАЭ и Саудовской Аравии национальные стратегии в области полупроводников связаны с Визией 2030 в рамках их целей по диверсификации экономики, что приводит к объявлениям о специализированных хабах для фотоники и упаковки чипов.
   

Доля рынка фотополимеров для передовых технологий литографии

Мировой рынок фотополимеров для передовых технологий литографии сконцентрирован, и пять ведущих конкурентов — JSR Corporation, Tokyo Ohka Kogyo (TOK), Fujifilm Electronics Materials, Shin-Etsu Chemical и Dongjin Semichem — должны составить более 50% доли мирового рынка в 2024 году. Лидеры отрасли — это хорошо зарекомендовавшие себя компании с прибыльными, долгосрочными отношениями с ведущими полупроводниковыми фабриками и сильным портфелем интеллектуальной собственности (ИС) в области химии EUV и ArFlip.
 

Компании вкладывают значительные средства в платформы EUV и High-NA EUV следующего поколения; JSR и TOK находятся в авангарде коммерческого внедрения химии EUV через сотрудничество с Intel, Samsung и TSMC. Fujifilm и Shin-Etsu также выходят на рынок химически усиленных полимеров (CARs) и полимеров с металлическим содержанием, ориентированных на узлы ниже 2 нм.
 

Дифференциаторы на рынке фотополимеров для передовых технологий литографии будут продолжать быть факторами производительности продукта, такими как кастомизация, стойкость к травлению, контроль шероховатости края линии (LER) и показатели чувствительности, в то время как ценовая дифференциация будет относиться ко вторичной категории, поскольку характеристики материала, которые имеют значение при критических размерах, имеют большее значение для общей стратегической конкурентоспособности фабрики.
 

Рынок также наблюдает рост числа совместных предприятий (СП) и/или исследовательских сотрудничеств. Примеры таких сотрудничеств включают IMEC-JSR, Fujifilm-Samsung и TOK-ASML. Многие производители также объединяются для совместного проектирования химии полимеров для конкретных случаев использования, связанных с оборудованием и процессами литографии.
 

Компании на рынке фотополимеров для передовых технологий литографии

Основные игроки, действующие на рынке фотополимеров для передовых технологий литографии:

• Brewer Science, Inc.
• Dongjin Semichem Co., Ltd.
• Dow
• Eternal Materials Co., Ltd.
• Fujifilm Holdings Corporation
• Inpria Corporation
• Irresistible Materials Ltd.
• Jiangsu Nata Opto-electronic Material Co., Ltd.
• JSR Corporation
• Kayaku Advanced Materials
• Merck KGaA
• Micro Resist Technology GmbH
• Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
• Sumitomo Chemical Company
• Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
   

JSR Corporation:JSR известна во всем мире как пионер в разработке передовых технологий фоторезистов и была одной из первых компаний, коммерциализировавших химически усиленные EUV-резисты. JSR сохраняет прочные партнерские отношения с imec и TSMC. JSR разрабатывает EUV и High-NA фоторезисты с учетом потребностей своих клиентов, акцентируя внимание на производительности своих металлосодержащих фоторезистов и сотрудничестве с клиентами по узлам менее 2 нм и совместной разработке.
 

Tokyo Ohka Kogyo (TOK): TOK может влиять на рынок с помощью значительного ассортимента резистов, включая 193i, KrF и EUV. TOK использует стратегию вертикальной интеграции от мономеров до готовых резистов и адаптирует химию процесса каждого завода для более глубокого вовлечения клиентов. Более индивидуальные реализации химии процессов были продвинуты за пределы ожиданий клиентов. Инновации с отрицательными тональными резистами и толстыми резистами для передовых упаковок подчеркиваются.
 

Fujifilm Electronic Materials: Fujifilm улучшает свои фоторезисты с высоким разрешением и низким LER, а также многофункциональные многослойные системы резистов для EUV-литографии. Fujifilm использует свои обширные знания в области органической химии и покрытий для решения сложностей при создании шаблонов для 3D NAND и логических слоев. Для поддержки своих глобальных заводов Fujifilm расширяет производственную инфраструктуру в США и Японии.
 

Shin-Etsu Chemical: Shin-Etsu Chemical — основной японский производитель, предлагающий на рынке иммерсионные и ArF-фоторезисты с акцентом на высокоаспектные элементы. Shin-Etsu играет ключевую роль в цепочке поставок для секторов производства DRAM и логических чипов и разработала сильные возможности в синтезе базовых полимеров, что позволяет компании оптимизировать фоторезисты для стабильности и последовательности в течение длительных процессов.
 

Dongjin Semichem: Dongjin набирает обороты, особенно на рынках EUV и передовых DUV-фоторезистов, и начинает завоевывать долю рынка с поставками на завод Samsung 3 нм. Под сильным руководством правительства Dongjin укрепляет свои позиции как отечественная альтернатива японским поставщикам и активно занимается НИОКР по следующим поколениям фоторезистов, а также пилотными испытаниями на заводах с использованием своих фоторезистов.
 

Химические вещества для фоторезистов в отрасли передовых литографий: новости

• В сентябре 2023 года корпорация JSR объявила, что через пилотную линию IMEC она сертифицировала свой следующий поколения металлооксидный EUV-резист для High-NA EUV-литографии.
   
• В июле 2023 года Tokyo Ohka Kogyo (TOK) объявила о соглашении о совместной разработке с Intel для создания фоторезистов для процессов следующего поколения менее 2 нм.
   
• В июне 2025 года Fujifilm Electronics Materials объявила, что завершила расширение своего завода по производству фоторезистов в Кумамото, Япония, с увеличением мощности на 30% для EUV-резистов из-за растущего использования TSMC.
   
• В апреле 2025 года Shin-Etsu Chemical объявила о запуске своих новых химически усиленных резистов (CARs) с низким LER, оптимизированных для иммерсионной литографии на 193 нм для передовых упаковочных приложений.
   
• В феврале 2025 года Dongjin Semichem официально начала поставки EUV-фоторезистов на завод Samsung Foundry для своих производственных линий 3 нм как первый коммерческий бизнес, который помогает производителям полупроводников удовлетворять требования EUV в этом узле.
   
• В декабре 2024 года Merck KGaA объявила о инвестировании в размере 35 миллионов долларов США в фотохимический R&A-завод в Дармштадте, Германия, с акцентом на устойчивые и высоконапорные литографические материалы.
   

Отчет по исследованию рынка фоторезистов для продвинутой литографии включает глубокий анализ отрасли, с оценками и прогнозами в терминах выручки (млн долларов США) и объема (тонн) с 2021 по 2034 год, для следующих сегментов:

Рынок, по типу

• Положительные фоторезисты
  • Фоторезисты на основе акрилата
  • Системы на основе новолака
  • Поли(метилметакрилат) (ПММА)
• Отрицательные фоторезисты
  • На основе эпоксидных смол
  • Содержащие кремний
  • На основе металлов

Рынок, по технологии литографии

• ДУВ-литография
  • Литография на 248 нм (KrF)
  • Сухая литография на 193 нм
  • Погружная литография на 193 нм (ARFI)
• Экстремальная ультрафиолетовая (EUV) литография
  • EUV @ 13,5 нм
  • Высокое NA EUV
• I-линия литографии (365 нм)
• Наноимпринт-литография (NIL)
• Электронно-лучевая литография

Рынок, по конечному применению

• Производство полупроводниковых устройств
  • Логические устройства
  • Устройства памяти
  • Устройства на краю сети
  • Изображение датчиков
• MEMS-устройства
  • Автомобильные MEMS
  • MEMS для потребительской электроники
  • MEMS для промышленности и здравоохранения
• Применение в электронных дисплеях
  • Производство ЖК-дисплеев
  • Производство OLED-дисплеев
  • Дисплеи следующего поколения
• Применение в продвинутой упаковке
  • 3D-упаковка
  • Система в упаковке (SIP)
  • Упаковка на уровне пластины (WLP)
• Производство фотомасок
  • EUV-маска
  • DUV-маска

Вышеуказанная информация предоставляется для следующих регионов и стран:

• Северная Америка
  • США
  • Канада
• Европа
  • Германия
  • Великобритания
  • Франция
  • Испания
  • Италия
  • Остальная Европа
• Азиатско-Тихоокеанский регион
  • Китай
  • Индия
  • Япония
  • Австралия
  • Южная Корея
  • Остальная Азия и Тихоокеанский регион
• Латинская Америка
  • Бразилия
  • Мексика
  • Аргентина
  • Остальная Латинская Америка
• Ближний Восток и Африка
  • Саудовская Аравия
  • Южная Африка
  • ОАЭ
  • Остальной Ближний Восток и Африка